WWW.DISSERS.RU

БЕСПЛАТНАЯ ЭЛЕКТРОННАЯ БИБЛИОТЕКА

   Добро пожаловать!

Pages:     | 1 ||

Выводы Показана возможность управления текстурой пленок оксида цинка в планарной магнетронной распылительной системе путем создания касательных и нормальных к подложке потоков заряженных частиц. Показана связь изменения текстуры пленки с наличием градиента потенциала вдоль подложки. Представленные результаты могут быть использованы для получения пленок с заданной ориентацией текстуры на протяженных подложках. Приведенные экспериментальные данные позволяют формировать многослойные структуры оксида цинка с чередованием слоев с нормальной и наклонной текстурой простым смещением подложки относительно оси распылительной камеры. При этом угол наклона подложки относительно мишени не изменяется. Важным практическим результатом также является возможность эффективного возбуждения ПАВ в пленках оксида цинка с наклонной текстурой.

Работа поддержана грантом федеральной программы ”Интеграция” (№ 696.3).

Список литературы [1] Aita G.R. // Ulrason. Symp. Proc. 1980. P. 795–800.

[2] Kikuo Tominaga, Satoshi Iwamura, Iwao Fujita et al. // Jap.

J. Appl. Phys. 1982. Vol. 21. N 7. P. 999–1002.

[3] Anderson A.C., Oates D.E. // Ultrason. Symp. Proc. 1982.

P. 329–333.

[4] Miura M. // Jap. J. Appl. Phys. 1982. Vol. 21. N 2. P. 264–271.

[5] Hadimioglu B., La Comb L.J., Jr., Wright D.R. et al. // Appl.

Phys. Lett. 1987. Vol. 50. N 23. P. 1642–1644.

[6] Howell D., Goddard L., Khuri-Yakub B.T. // Ultrason. Symp.

1987.

[7] Wang J.S., Lakin K.M. // Ultrason. Symp. Proc. 1982. P. 480– 483.

[8] Krishnaswamy S.V., McAvoy B.R., Takei W.J. // Ultrason.

Symp. Proc. 1982. P. 476–479.

[9] Данилин Б.С., Сырчин В.К. Магнетронные распылительные системы. М.: Радио и связь, 1982. 72 с.

[10] Веселов А.Г., Джумалиев А.С. Электронная техника.

Сер. 7. Технология, организация производства и оборудование. 1988. С. 71–75.

[11] Kikuo Tominaga, Nozomu Ueshiba, Yoshihiro Shintani et al. // Jap. J. Appl. Phys. 1981. Vol. 20. N 3. P. 519–526.

Журнал технической физики, 2000, том 70, вып.

Pages:     | 1 ||



© 2011 www.dissers.ru - «Бесплатная электронная библиотека»

Материалы этого сайта размещены для ознакомления, все права принадлежат их авторам.
Если Вы не согласны с тем, что Ваш материал размещён на этом сайте, пожалуйста, напишите нам, мы в течении 1-2 рабочих дней удалим его.