WWW.DISSERS.RU

БЕСПЛАТНАЯ ЭЛЕКТРОННАЯ БИБЛИОТЕКА

   Добро пожаловать!

Pages:     | 1 ||

значений h > 0.85 µm (h/ > 8%). Полученные зна- Пусть задана ПАВ структура в виде электродов с чения h0, NP0, WP0 для параллельного резонатора и чередующейся полярностью и произвольно меняющимNS0, WS0 для последовательного резонатора не являются ся периодом и перекрытием соседних электродов. Буисчерпывающими для расчета фильтра. Более того, дем также полагать, что источник сигнала амплитудой Журнал технической физики, 2002, том 72, вып. Синтез лестничных фильтров на основе резонаторов на поверхностных акустических волнах U0 подключен слева. Рассмотрим k-й электрод ВШП Рассмотрим слагаемые, связанные с преобразова(рис. 6, a). Пусть R(x, ) и S(x, ) — две связанные нием ПАВ при прохождении через электрод ВШП между собой неоднородные плоские волны, распро- (рис. 6, a, b), и учтем тот факт, что возбуждение носит страняющиеся в электродной структуре ВШП. Причем распределенный характер. Будем полагать, что прямое и R(x, ) распространяется в направлении оси X, а S(x, ) обратное преобразование ПАВ на электродах происхов направлении, противоположном оси X. Неоднородные дит с одинаковой эффективностью, т. е. носит взаимный плоские волны запишем в виде характер. Пусть задано распределение поверхностного тока на электродах ВШП в виде J(x). Будем считать, R(x, ) =R() exp(- jkx), (9) что механизм преобразования ПАВ малым участком поверхностного тока xK электрода и всего электрода S(x, ) =S() exp(+ jkx), (10) аналогичны. Тогда, просуммировав вклады в преобрагде R(), S() — комплексные амплитуды соответству- зование ПАВ по ширине электрода относительно его ющих волн. центра XC и переходя к пределу ( XK 0), получим Пусть на k-й электрод слева падает волна RK(x, ), LK/а справа Sk+1(x, ), тогда для комплексных амплитуд K = Ga J(x) exp[- j(/VM - k0)x]dx, (13) прошедших волн с учетом механизмов отражения, прохождения и преобразования с коэффициентом k можно -LK/получить где Ga — акустическая проводимость излучения на SK() =rK1K exp[- j(keff - k0)pK]RK() частоте синхронизма (см., например, [7]).

Распределение поверхностного тока на электро+ 1K(1 -|rK|2)1/2 exp[- j(keff - k0)pK]SK+1() дах J(x), учитывая краевые эффекты и конечную длину ВШП и пренебрегая обратной реакцией пьезоэлектрика, + K2K exp[- j(keff - k0)pK/2]U0, (11) можно рассчитать методом, изложенным в [8]. Соотношения (11)–(13) можно записать в матричной форме RK+1() =1K(1 -|rK|2)1/2 exp[- j(keff - k0)pK]RK() SK() P11 P12 P13 RK() + rK1K exp[- j(keff - k0)pK]SK+1() RK+1() = P21 P22 P23 SK+1(). (14) IK() P31 P32 P33 U+ K2K exp[- j(keff - k0)pK/2]U0, (12) где rK — комплексный коэффициент отражения от k-го Тогда P-матрица ВШП в целом определяется поэлектрода, keff — эффективное волновое число ПАВ, следовательным перемножением P-матриц, описываk0 = 2/pK, pK = xK+1 - xK, K — коэффициент ющих каждый электрод. Используя систему уравнепреобразования ПАВ на k-м электроде, 1K = W1K/W0, ний (11)–(13) с произвольными коэффициентами, за2K = W2K/W0, W0 — максимальная апертура, W1K — писанную для двух последовательно включенных ПАВ перекрытие соседних электродов, W2K = W0 в случае, структур, нетрудно получить компоненты суммарной если используются холостые электроды, и W2K = W1K, P-матрицы если холостые электроды не используются.

Фазовые сомножители у слагаемых, связанных с (P11)S =(P11)1 +(P12)1(P11)2(P21)1/P0, (15) отражением (преобразованием) волн, определяют фа(P12)S =(P12)1(P12)2/P0, (16) зовый набег от центра отражения (преобразования) волны до соответствующей границы (xK для SK() (P13)S =(P13)1 +(P12)1[(P13)2 +(P11)2(P23)1]/P0, (17) и xK+1 для RK()). Центр отражения (преобразо(P21)S =(P21)1(P21)2/P0, (18) вания) ПАВ принят находящимся в центре электрода. Эффективное волновое число вычислим как (P22)S =(P22)2 +(P21)2(P22)1(P12)2/P0, (19) keff = 2/eff = /[V0 + LK(VM - V0)/pK] - j, где (P23)S =(P23)2 +(P21)2[(P23)1 +(P13)2(P22)1]/P0, (20) V0 — скорость ПАВ на свободной поверхности, VM — скорость ПАВ под металлизированной поверхностью, (P31)S =(P31)1 +(P21)1[(P31)1 +(P11)2(P32)1]/P0, (21) — суммарные потери при распространении ПАВ в (P32)S =(P32)2 +(P12)2[(P32)1 +(P22)1(P31)2]/P0, (22) электродной структуре на единицу длины.

Изменение тока в шине ВШП происходит за счет (P33)S =(P33)1 +(P33)2 + (P32)1[(P13)2 +(P11)2(P23)1] преобразования прямой и обратной волн и падения +(P31)2[(P23)1 +(P22)1(P13)2] /P0, (23) напряжения на емкости электрода:

где P0 = 1 - (P11)2(P22)1, индексы S, 1 и 2 у круглых IK() =IK() - IK+1() скобок относятся соответственно к суммарной P-матрице, P-матрице ПАВ структуры, находящейся слева, и =+2K exp[- j(keff - k0)pK/2]RK() P-матрице ПАВ структуры, находящейся справа; ПАВ + 2K exp[- j(keff - k0)pK/2]SK() + j(C2/2)U0. структурой может быть как отдельный электрод, так и 7 Журнал технической физики, 2002, том 72, вып. 100 В.Ф. Дмитриев Рис. 6. K-й электрод ВШП.

группа электродов, для которой вычислена суммарная ниям (4), (5), можно найти наиболее благоприятное соP-матрица. четание h, N, W для каждого из резонаторов, входящих P-матрица ОС может быть получена из соотношений в фильтр. Анализировать необходимо получаемые при (11)–(13) при дополнительных условиях K = 0, U0 = 0, этом добротности и минимальные потери резонаторов, C2 = 0. Отметим, что элементы матрицы P13, P23, P31, причем способ включения отдельного резонатора при P32, P33 будут нулевыми. анализе должен соответствовать его включению в фильПри расчетах фильтров и резонаторов необходима тре. На рис. 7 представлены результаты расчета резоP-матрица, описывающая зазор между ВШП и ОС или натора на 36 Y, X-срезе LiTaO3 из последовательного между двумя ВШП. Выражение для нее хорошо известно плеча для трех значений NS (условие NS0WS0 = const из литературы, поэтому лишь отметим, что данная соблюдено). В таблице приведены значения добротноP-матрица также может быть получена из соотношений стей и минимальных потерь, соответствующие кривым (11)–(13) при условиях K = 0, U0 = 0, C2 = 0, rK = 0, на рис. 7.

WK = 0. В данном случае ненулевыми будут только Учитывая фактор минимальных размеров пьезоподэлементы P-матрицы P12 и P21.

ложки при приемлемых электрических параметрах Приведенные соотношения позволяют рассчитывать фильтра, для последующего расчета выберем NS = 127, входную проводимость ВШП в составе фильтра или WS = 17.8 и h = 0.85 µm. Прочими параметрами резонатора с произвольно меняющимся периодом и резонатора, которые должны быть выбраны на основе апертурой электродов вдоль структуры ВШП и ОС и более строгого анализа, являются отношение периодов реальным распределением поверхностного тока (заряда) ОС и ВШП, а также величина зазора между ВШП и ОС.

на электродах ВШП. Отметим, что входную проводи- Эти параметры подбираются так, чтобы АЧХ фильтра мость ВШП определяет элемент P33 суммарной P-матрицы ПАВ структуры.

4. Анализ ПАВ резонаторов на основе COM метода Более точный выбор оптимального сочетания значений h, N и W из полученных после решения уравнения (1) (или по номограммам рис. 3, 4) и при сохранении условия NP0WP0 = const и NS0WS0 = const может быть сделан только на основе анализа частотных характеристик входящих в него резонаторов и фильтра в целом COM методом. Уточнение параметров топологических элементов резонаторов на основе модифицированного COM метода проводилось следующим образом. Путем расчета частотных характеристик резонаторов, а затем и фильтра для 3–4 возможных вариантов сочетаний h и N, лежащих на кривой рис. 5, и соответствующих Рис. 7. Результаты расчета АЧХ ПАВ резонаторов модифициим значений апертуры W, вычисленных по соотноше- рованных COM методом.

Журнал технической физики, 2002, том 72, вып. Синтез лестничных фильтров на основе резонаторов на поверхностных акустических волнах Число Апертура W Доброт- Мини- Номер электродов длин волн ность мальные кривой NS потери, dB на рис. 63 35.6 279 0.29 127 17.8 359 0.23 253 8.9 389 0.22 была максимально гладкая, без выбросов и провалов.

Число отражателей ОС зависит от суммарных потерь на длину волны в ОС (ВШП), обусловленных всеми источниками потерь. Наиболее существенными источниками потерь при распространении ПАВ в отражательной структуре являются следующие: утечка волны [1,6], переизлучение в объемные волны (для металлических полосков [1,6], для канавок [9]) и резистивные потери в металлических полосках (для полосков). Число отражателей в ОС определяется требованием к амплитуде пульсаций на АЧХ фильтра. При правильном выборе числа отражателей на АЧХ фильтра отсутствуют регулярные пульсации.

5. Лестничный фильтр с полосой, большей оптимальной Максимальная полоса частот лестничного фильтра определяется максимально возможным коэффициентом связи. Для сильных пьезоэлектриков типа ниобата и танталата лития k2(h) зависит от максимально допустимой толщины металлической пленки, при которой уменьшение вносимых потерь за счет увеличения k2(h) не компенсируется их увеличением за счет роста „утечки“ и эффективности преобразования в объемные волны [1,6].

Так, для 36 YX-LiTaO3 максимально допустимая толщина пленки алюминия h 8% [1]. Соответственно максимально реализуемая полоса частот составляет 5%. Однако этот случай соответствует ситуации, когда антирезонансная частота параллельного резонатора совпадает с резонансной частотой последовательного резонатора. Несколько раздвигая резонансы относительно друг друга, можно увеличить полосу частот фильтра без заметного ухудшения его параметров. В этом случае фильтр проектируется на максимальную полосу частот, соответствующую максимально допустимой Рис. 8. Результаты расчета АЧХ фильтров и нормированных толщине пленки металла, а затем резонансные частоты входных проводимостей резонаторов = 20{log10[|Y |/G0]}, последовательного и параллельного резонаторов раздвивходящих в фильтр, для трех значений полосы частот гаются на требуемую величину. При чрезмерно большом FC/F0, %: a —4.7, b —5.7, c —8.6.

смещении резонансных частот в центре характеристики образуется провал.

В качестве примера на рис. 8 представлены результаты расчета частотных характеристик лестничного филь- поясняют возможные изменения полосы пропускания фильтра путем смещения резонансных частот резонатотра с электрическими параметрами, упомянутыми выше для пяти звеньев в последовательности a-b-a-b-a ров. Нормированная входная проводимость определена (обозначение согласно рис. 2). Там же приведены ча- как = 20{log10[|Y |/G0]}, где G0 =(4/)k2(h1)0N2C2.

стотные зависимости нормированных входных прово- Для заданной полосы частот FC = 4.7% расчетдимостей резонаторов, входящих в фильтр, которые ная полоса частот по уровню -3dB F составила Журнал технической физики, 2002, том 72, вып. 102 В.Ф. Дмитриев вносимые потери в центре полосы пропускания фильтра объясняются неточностью выбора зазора между ВШП и ОС в резонаторах фильтра, а небольшие пульсации в полосе пропускания объясняются взаимодействием ПАВ с отраженными от обратной поверхности подложки объемными волнами [7]. Величина зазора была выбрана равной полупериоду ВШП. Расхождения в форме расчетной и экспериментальной кривых вблизи частоты Fобъясняются неточностью при выборе фазы коэффициента отражения от электрода ВШП.

Заключение Описанный метод пригоден для синтеза лестничных фильтров на основе ПАВ резонаторов как на материалах с низкими значениями k2, например кварца или лангасиРис. 9. Экспериментальная (1) и рассчитанная модифицирота, так и на сильных пьезоэлектриках, например ниобата ванным COM методом (2) частотные характеристики пятии танталата лития.

звенного лестничного ПАВ фильтра.

Список литературы 4.4% (рис. 8, a), для FC = 5.7%, согласно расчету, [1] Hashimoto K., Yamaguchi M., Mineyoshi S. et al. // IEEE F = 5.1% (рис. 7, b) и для FC = 8.7%, согласно Ultrasonics Symposium. 1997. P. 245–254.

расчету, F = 6.9% (рис. 8, c). Число электродов в [2] Пшесмыцкий О. Проектирование электрических лестничВШП из параллельного плеча 81 при апертуре 37.3, ных фильтров. М.: Связь, 1968. 520 с.

из последовательного плеча 127 при апертуре 17.8, [3] Зеленка И. Пьезоэлектрические резонаторы на объемных и толщина пленки Al 0.85 µm, число отражателей в каждой поверхностных акустических волнах. М.: Мир, 1990. 584 с.

ОС 120, потери = 10 log10[exp()] были приняты [4] Lehtonen S., Plessky V., Honkanen M.T. et al. // Appl. Phys.

равными 0.02 dB/ [1]. Зависимости k2(h) и r0(h) были Lett. 1999. T. 55. N 1. P. 142–144.

получены на основе данных приведенных в работе [5]. [5] Rosler U., Cohrs D., Dietz A. // IEEE Ultrasonics Symposium.

1995. P. 247–250.

Отметим, что увеличение полосы частот до 6% [6] Kondratiev S.N., Thorvaldson T. et al. // IEEE Ultrasonics не приводит к появлению характерного провала в ценSymposium. 1999.

тре АЧХ.

[7] Birykov S.V., Martin G., Polevoi V.G. et al. // IEEE Trans. on UFFC-42. 1995. Vol. UFFC-42. N 4. P. 612–618.

6. Результаты эксперимента [8] Дмитриев В.Ф., Калиникос Б.А. // ЖТФ. 1989. Т. 59. Вып. 1.

Р. 197–200.

Предложенным методом синтеза и последующим ана- [9] Дмитриев В.Ф. // ЖТФ. 1995. Т. 65. Вып. 8. Р. 111–123.

лизом с использованием модифицированного COM метода был спроектирован, а затем изготовлен лестничный фильтр на одновходовых ПАВ резонаторах с параметрами F0 = 392 MHz, FC = 18.5MHz, KP = 1.3.

Фильтр состоял из пяти последовательно включенных звеньев в последовательности a-b-a-b-a (обозначение звеньев согласно рис. 2). В качестве материала пьезоэлектрика был выбран 36 Y, X-среза LiTaO3.

Pages:     | 1 ||



© 2011 www.dissers.ru - «Бесплатная электронная библиотека»

Материалы этого сайта размещены для ознакомления, все права принадлежат их авторам.
Если Вы не согласны с тем, что Ваш материал размещён на этом сайте, пожалуйста, напишите нам, мы в течении 1-2 рабочих дней удалим его.