WWW.DISSERS.RU

БЕСПЛАТНАЯ ЭЛЕКТРОННАЯ БИБЛИОТЕКА

   Добро пожаловать!

Pages:     | 1 ||

СВС в мультислойных пленках. Поэтому следует ожидать, что и другие твердофазные реакции, возникающие на контактной поверхности пленочных конденсатов, могут быть в начальной стадии самораспространяющимся температура пленки резко возрастала до температуры высокотемпературным синтезом. Это определяет поиск порядка 1330 K. Это значение хорошо согласуется с твердофазных реакций, которые могут быть реализованы температурной оценкой фронта, сделанной ранее. После в двухслойных пленочных образцах. Они должны пропрохождения волны СВС температура, которую показыисходить в системах, где СВС получен [1]. С другой вала пленочная термопара, падала. Однако обратный ход стороны, для пленок, на границе которых возникают температуры пленки не совпадал с прямым и был выше твердофазные реакции (см., например, [15]), следует температуры нагревателя, что указывает на продолжеожидать СВС в соответствующих порошках.

ние экзотермической реакции. Только при температурах На основании начальных экспериментов по исследо300-350 K реакция заканчивается, и происходит совпаванию СВС в тонких пленках можно сделать следудение температур пленки и нагревателя.

ющие выводы: 1) СВС в тонких пленках реализуется Для определения полного времени реакции измеряпри температурах инициирования на 300-350 ниже, лось электросопротивление образцов во время прохочем в порошках; 2) механизм СВС в тонких пленках ждения реакции при температуре T1i. Увеличение темпеаналогичен процессу взрывной кристаллизации; 3) СВС ратуры от комнатной до температуры T1i сопровождается в тонких пленках может реализовываться и на поплавным увеличением электросопротивления, которое верхности порошков, если второй реагент находится в является типичным для температурной зависимости сожидкой фазе; 4) возможность инициирования СВС нужпротивления металлов. При достижении температуры но учитывать в существующих технологиях получения начала инициирования T1i электросопротивление образтонкопленочных покрытий; 5) различные твердофазные ца резко увеличивается и растет для систем Al/Co в реакции, наблюдаемые на границе раздела двухслойных течение 20 min и для пленочных систем Al/Ni, Al/Fe в течение 10 min. Эксперименты по определению тем- и мультислойных пленок и возникающие при низких пературы образцов и их электросопротивления показы- температурах термообработки, могут в начальной стадии быть самораспространяющимся высокотемпературным вают, что после прохождения волны СВС по пленке (для данных образцов не более 10 s) дальнейшее те- синтезом; 6) большие скорости охлаждения после прохождения волны СВС в двухслойных пленочных образцах пловыделение в ней связано с процессом догорания.

Процессы догорания были отмечены в ранних работах могут приводить к стабилизации высокотемпературных и по СВС [2]. Из этого следует, что процесс реакции метастабильных фаз; 7) СВС может найти применение в делится на две стадии. В первой стадии реализуется различных технологиях получения пленочных элементов быстрый автоволновой процесс горения, результатом для микроэлектроники.

Журнал технической физики, 1998, том 68, № 62 В.Г. Мягков, В.С. Жигалов, Л.Е. Быкова, В.К. Мальцев Работа выполнена при финансовой поддержке РФФИ, грант № 96-32327a/410.

Список литературы [1] Мержанов А.Г. // Физическая химия / Под ред. Колотыркина. М.: Химия, 1983. С. 6–45.

[2] Мержанов А.Г., Боровинская И.П. // ДАН СССР. 1972.

Т. 204. № 2. С. 366.

[3] Вадченко С.Г., Булаев А.М., Гальченко Ю.А., Мержанов А.Г. // ФГВ. 1987. № 6. С. 46–56.

[4] Anselmi-Tambuini U., Munir Z.A. // J. Appl. Phys. 1989.

Vol. 66. N 10. P. 5039.

[5] Физические величины / Под ред. И.С. Григорьева, Е.З. Мейлихова. М.: Энергоатомиздат, 1991. 1232 с.

[6] Лариков В.Н., Исайчев В.И. Структура и свойства металлов и сплавов. Диффузия в металлах и сплавах. Киев:

Наукова думка, 1987. 511 с.

[7] Miagkov V.G., Kveglis L.I., Frolov G.I., Zhigalov V.S. // J.

Mater. Sci. Lett. 1994. Vol. 13. P.1284–1286.

[8] Мягков В.Г., Бакшеев Н.В. // Письма в ЖТФ. 1992. Т. 18.

Вып. 6. С. 14–17.

[9] Шкловский В.А., Кузьменко В.М. // УФН. 1989. Т. 157.

№ 2. С. 311–338.

[10] Gilmer G.H., Leamy H.J. // Laser and Electron-Beam Processing of Materials. New York: Academic Press. 1980.

P. 227–232.

[11] Philpoh K.A., Munir Z.A., Holt J.B. // J. Mater. Sci. 1987.

Vol. 22. P. 159–169..

[12] Michaelsen C., Lucadamo G., Barmak K. // J. Appl. Phys.

1996. Vol. 80. N 12. P. 6689.

[13] Физическое металловедение / Под ред. Р. Кана. Вып. 2. М.:

Мир, 1968. 490 с.

[14] Coldan E.O., Cabral C., Kotecki Jr. et al. // J. Appl. Phys.

1995. Vol. 77. N 2. P. 614–619.

[15] Persson L., Bouanani M.El., Hult M. et al. // J. Appl. Phys.

1996. Vol. 80. N 6. P. 3347–3354.

Журнал технической физики, 1998, том 68, №

Pages:     | 1 ||



© 2011 www.dissers.ru - «Бесплатная электронная библиотека»

Материалы этого сайта размещены для ознакомления, все права принадлежат их авторам.
Если Вы не согласны с тем, что Ваш материал размещён на этом сайте, пожалуйста, напишите нам, мы в течении 1-2 рабочих дней удалим его.