WWW.DISSERS.RU

БЕСПЛАТНАЯ ЭЛЕКТРОННАЯ БИБЛИОТЕКА

   Добро пожаловать!

Pages:     | 1 ||

Особенно отчетливо этот процесс прослеживается на сериях температурных зависимостей электропроводности для пленок в порядке их получения [14].

В настоящей работе нами экспериментально исследовано распределение пленок CdSb по толщине при напылении из графитового испарителя с четырьмя капиллярами. Напыление проводилось в установке ВУП-при вакууме 1 · 10-6 Torr на ситалловые подложки, находящиеся на расстоянии 12 cm от открытого конца капилляра. Распределение пленок по толщине определялось измерениями на многолучевом интерферометре МИИ-11, а также исследованием профиля скола структуры подложка–пленка на электронном растровом микроскопе РЭМ-100У.

На рис. 3 приведены результаты измерения толщины пленки (штрихпунктирная кривая), которая получена с использованием четырехкапиллярного испарителя. Сплошная кривая представляет результат расчета распределения толщины конденсата при напылении из четырех капилляров, расположенных в вершинах квадрата. Как видно из рисунка, применением испарения из Журнал технической физики, 2001, том 71, вып.

Pages:     | 1 ||



© 2011 www.dissers.ru - «Бесплатная электронная библиотека»

Материалы этого сайта размещены для ознакомления, все права принадлежат их авторам.
Если Вы не согласны с тем, что Ваш материал размещён на этом сайте, пожалуйста, напишите нам, мы в течении 1-2 рабочих дней удалим его.