WWW.DISSERS.RU

БЕСПЛАТНАЯ ЭЛЕКТРОННАЯ БИБЛИОТЕКА

   Добро пожаловать!

Pages:     | 1 ||

[2] А.Д. Полянин, А.В. Вязьмин. Справочник по точным решениям уравнений тепло- и массопереноса. Факториал, М.

(1998). 29 с.

[3] J. Keinonen, J. Risnen, A. Anttila. Appl. A 35, 227 (1984).

[4] T.C. Reuther, M.R. Achter. Metall. Trans. 1, 1777 (1970).

[5] J. Gyulai. In: Handbook of Ion Implantation and Technology / Ed. J.F. Ziegler. Elsevier Science Publ. (1992). P. 69.

[6] H. Jehn, E. Fromm. J. Less Common Met. 21, 333 (1970).

[7] M.W. Guinan, R.N. Stuart, R.J. Borg. Phys. Rev. B 15, 2, (1977).

[8] D.H. Tsai. R. Bullough, R.C. Perrin. J. Phys. C: Solid State Phys.

3, 2022 (1970).

[9] Б.С. Бокштейн, С.З. Бокштейн, А.А. Жуховицкий. Термодинамика и кинетика диффузии в твердых телах. МеталлурРис. 3. Динамика изменения относительной поверхностной гия, М. (1974). 280 с.

концентрации азота, имплантированного в вольфрам, от времени отжига (пунктирная линия) и результаты интерполяции экспериментальных данных (сплошная линия). Энергия имплантации 40 keV, доза 1017 cm-2. Температура отжига, C:

a — 740, b — 820.

распределения позволяют свести решение уравнения (4) для координаты x = 0 к формуле (5). Коэффициенты диффузии, при которых наблюдается наилучшее согласие результатов интерполяции и теоретических значений, для температур 740 и 820Cравны1.7 · 10-14 cm2/s и 2.7 · 10-14 cm2/s соответственно. Подбор параметров производился для времен отжига, больших 1 h. Эти результаты имеют тот же порядок величин, что и значения коэффициентов D1, полученных при исследовании диффузии в приповерхностной области ионно-легированного вольфрама.

3. Выводы 1) В интервале температур 700-820C проведены диффузионные эксперименты на имплантированных азотом монокристаллах вольфрама с начальным максимумом распределения примеси на поверхности и в приповерхностном слое образца. Изменение концентрации примеси в процессе отжига определялось методом Оже-электронной спектроскопии.

Физика твердого тела, 2006, том 48, вып.

Pages:     | 1 ||



© 2011 www.dissers.ru - «Бесплатная электронная библиотека»

Материалы этого сайта размещены для ознакомления, все права принадлежат их авторам.
Если Вы не согласны с тем, что Ваш материал размещён на этом сайте, пожалуйста, напишите нам, мы в течении 1-2 рабочих дней удалим его.