WWW.DISSERS.RU

БЕСПЛАТНАЯ ЭЛЕКТРОННАЯ БИБЛИОТЕКА

   Добро пожаловать!

Pages:     | 1 ||

Относительные изменения скорости ДП для хлора оказались меньше, чем для иода. Так, трехкратному увеличению скорости ДП в хлоре соответствует изменение Tv от 300 до 1000 K при Te = 1.5 eV и от 300 до 1300 K при Te = 4 eV. Формы сечения диссоциативного прилипания в районе We 0 для хлора и иода сходны, сходно и поведение потенциальных кривых состояний X1+ молекулы и + отрицательного молекулярного g u иона [15], что позволяет говорить о подобии механизма температурной зависимости ДП. Но потенциальная яма основного состояния молекулы X1+ для хлора g Рис. 6. Температурная зависимость скоростного коэффициявляется более узкой, чем для иода; интервалы между ента прилипания электронов к молекуле иода для равновесной колебательными уровнями для хлора (0.07 eV) больше, плазмы. Крестики — результаты работы [7], сплошная линия — расчет данной работы. чем для иода (0.0266 eV). Поэтому при равных значениях Журнал технической физики, 2000, том 70, вып. 16 А.П. Головицкий Таблица 2. Сечение образования ионных пар [6] Pinho N., Chouki A. // Proc. ICPIG XXII. Pt II. P. 5–6.

Hoboken (USA), 1995.

We, · 1018 cm2 при Tv в K [7] Truby F.K. // Phys. Rev. 1969. Vol. 188. N 1. P. 508–512.

[8] Головицкий А.П., Лебедев С.В. // Опт. и спектр. 1997. Т. 82.

eV 300 [5] 300 500 800 Вып. 2. С. 251–255.

12 < 0.1 < 0.1 < 0.1 0.10 0.[9] Месси Г. Отрицательные ионы. М.: Мир, 1979. 760 с.

16 < 0.1 < 0.1 0.10 0.20 0.[10] Condon E.U. // Phys. Rev. 1928. Vol. 32. N 3. P. 858–866.

20 0.12 0.14 0.24 0.41 0.[11] Peyerimhoff S.D., Buenker R.J. // Chem. Phys. 1981. Vol. 57.

24 0.65 0.58 0.64 0.74 0.N 2. P. 279–296.

28 1.10 1.07 1.02 1.03 1.[12] Mller Th. et al. // Chem. Phys. 1983. Vol. 76. N 2. P. 295–306.

32 0.89 0.90 0.95 1.05 1.[13] Gilbert T.L., Wahl A.C. // J. Chem. Phys. 1971. Vol. 55. N 11.

36 0.57 0.63 0.68 0.89 1.P. 5247–5261.

40 0.60 0.57 0.66 0.86 0.[14] Tasker P.W. et al. // Molec. Phys. 1976. Vol. 32. N 6. P. 1651– 44 0.62 0.64 0.79 1.00 1.1660.

48 0.69 0.72 0.94 1.20 1.[15] Хастед Дж. Физика атомных столкновений. М.: Мир, 52 0.88 0.92 1.18 1.44 1.1965. 712 с.

56 1.28 1.29 1.52 1.72 1.60 1.76 1.75 1.91 2.02 2.64 2.18 2.15 2.26 2.31 2.68 2.52 2.55 2.64 2.63 2.72 3.18 3.23 3.17 2.98 2.76 4.06 4.08 3.73 3.29 3.80 4.25 4.30 3.94 3.38 3.84 4.13 4.16 3.73 3.22 2.88 3.94 3.91 3.47 2.97 2.92 3.70 3.74 3.30 2.79 2.96 3.40 3.43 3.09 2.64 2.100 3.07 3.00 2.78 2.45 2.Tv для хлора должна иметь место меньшая заселенность верхних колебательных уровней и связанное с ней меньшее ”размытие” первого парциального сечения, чем для иода.

Сравнивая величины сечений ДП и ОИП, можно заключить, что в хлоре ОИП является более слабым каналом образования отрицательных ионов, чем ДП при Te, примерно равной нескольким eV. При Te 4eV и температурах тяжелых частиц до 1000 K температурная зависимость прилипания для хлора незначительная. Следует, правда, учесть, что в реальных газовых разрядах колебательная температура Tv может существенно превышать газовую, а тогда учет температурной зависимости прилипания необходим.

Данная работа выполнена при поддержке гранта Минобразования РФ № 97-0-5.3-34.

Список литературы [1] Font G.I., Boyd I.D. // J. Vac. Sci. Technol. 1997. Vol. A15.

N 2. P. 313–319.

[2] Bukowski J.D., Graves D.B. // J. Appl. Phys. 1996. Vol. 80.

N 5. P. 2614–2623.

[3] Basset N.L., Economou D.J. // J. Appl. Phys. 1994. Vol. 75.

N 4. P. 1931–1939.

[4] Rogoff G.L. et al. // IEEE Trans. Plasma Sco. 1986. Vol. PS-14.

N 2. P. 103–111.

[5] Kurepa M.V., Beli D.S. // J. Phys. B. 1978. Vol. 11. N 21.

P. 3719–3729.

Журнал технической физики, 2000, том 70, вып.

Pages:     | 1 ||



© 2011 www.dissers.ru - «Бесплатная электронная библиотека»

Материалы этого сайта размещены для ознакомления, все права принадлежат их авторам.
Если Вы не согласны с тем, что Ваш материал размещён на этом сайте, пожалуйста, напишите нам, мы в течении 1-2 рабочих дней удалим его.