WWW.DISSERS.RU

БЕСПЛАТНАЯ ЭЛЕКТРОННАЯ БИБЛИОТЕКА

   Добро пожаловать!

Pages:     | 1 || 3 | 4 |

Таким образом, актуальной является задача реализации различных методов измерения твердости в одном приборе и сравнение экспериментальных данных, полученных на разных материалах, а также установление ограничений применимости различных методов.

Для решения этой задачи перспективным направлением представляется разработка комплексного подхода к измерению твердости с применением сканирующих нанотвердомеров – нового класса приборов для неразрушающего контроля и измерения механических свойств.

Во второй главе содержится описание сканирующего нанотвердомера «НаноСкан-3D», разрабатываемого в ФГУ ТИСНУМ.

Рассмотрена конструкция прибора, принципы его работы, основные функциональные возможности и технические характеристики.

Значительная часть главы посвящена описанию разработанных методик калибровки нанотвердомера, необходимых для проведения измерений твердости на субмикронном и нанометровом масштабах:

– методика калибровки перемещений;

– методика калибровки датчика силы с учетом особенностей конструкции системы нагружения;

– методика определения функции формы индентора;

– методика определения податливости системы нагружения.

Главной отличительной особенностью «НаноСкан-3D» является применение биморфного пьезокерамического зондового датчика-кантилевера камертонной конструкции с высокой изгибной жесткостью порядка 10-50 кН/м. На свободном конце кантилевера установлен алмазный наконечник типа Берковича. Данный датчик может работать в двух режимах: в динамическом резонансном режиме и в режиме статического прогиба. Работа в первом режиме позволяет получать изображение рельефа и карты распределения упругих свойств на поверхности аналогично обычным сканирующим зондовым микроскопам. Работа во втором режиме позволяет прикладывать к индентору нагрузку в режиме твердомера.

Третья глава посвящена реализации методов индентирования на сканирующем нанотвердомере «НаноСкан-3D».

В разделе 1 описана реализация метода измерительного динамического индентирования (ИДИ). В основе данного метода лежит измерение и анализ зависимостей прикладываемой нагрузки от глубины внедрения индентора P(h). Твердость в методе наноиндентирования рассчитывается по формуле (1) и имеет размерность давления (ГПа).

Pmax H =, ( 1 ) Ac где Pmax – максимальная приложенная к индентору нагрузка по графику P(h), Н; Ac – площадь проекции отпечатка при максимальной нагрузке Pmax, м2.

Визуализация отпечатков в данном методе не предусмотрена.

Площадь проекции отпечатка определяется по известной геометрии наконечника и контактной глубине индентирования, вычисленной по кривой нагружения-разгрузки. Основная особенность метода наноиндентирования заключается в том, что твёрдость определяется в момент максимального внедрения наконечника, то есть до начала упругого восстановления материала.

Метод измерительного динамического индентирования лежит в основе международных стандартов ISO 14577 и ASTM E 2546-07. В Российской Федерации в настоящее время ведется разработка отечественного стандарта на данный метод измерения.

Основными факторами, влияющими на результаты измерений этим методом, являются:

1) точность измерения силы и перемещения в процессе индентирования;

2) функция формы индентора;

3) определение податливости системы нагружения;

4) определение точки касания индентора поверхности в начале процесса индентирования;

5) шероховатость поверхности;

6) упруго-пластическое поведение материала, приводящее к изменению площади контакта индентора с поверхностью.

Способы учета факторов по пп. 1-3 применительно к конструкции прибора «НаноСкан-3D» рассмотрены в главе 2.

Особенностью реализации данного метода в сканирующем нанотвердомере «НаноСкан-3D» является методика определения начальной точки касания. В процессе выполнения работы был разработан алгоритм «мягкого» поиска поверхности. Процедура заключается в плавном подводе к поверхности образца зондового датчика, работающего в динамическом режиме, при котором зонд совершает колебания с амплитудой 10 нм на резонансной частоте ~кГц в направлении нормали к поверхности образца. При касании индентором поверхности происходит увеличение частоты колебаний зонда на 12 Гц, что является сигналом для остановки подвода. После этого зондовый датчик переключается в статический режим для последующего нагружения с одновременной записью сигнала силы.

Эксперименты, проведенные с использованием высокоточного весового модуля, показали, что для широкого ряда материалов от мягких металлов (алюминий, медь) до твердых кристаллов (сапфир) сила воздействия индентора на поверхность материала в момент касания составляет не более 2 мкН, что не вызывает пластическую деформацию исследуемых материалов.

Процедура нагружения-разгружения поверхности происходит с учетом особенностей конструкции системы, описанных в главе диссертации. Измеренные сигналы емкостного датчика перемещения Z-позиционера и оптического датчика изгиба зонда (силы) преобразуются в диаграмму нагружение-внедрение. Расчет твердости осуществляется в соответствии с алгоритмом, описанным в международном стандарте ISO 14577.

Для учета влияния шероховатости, поверхностных дефектов, а также для локальной привязки мест нанесения измерений, рельеф поверхности сканируется перед проведением измерений в режиме сканирующего зондового микроскопа (СЗМ). Для измерений выбираются плоские участки поверхности с шероховатостью Ra, не превышающей 10-20 нм.

Значительный вклад в погрешность определения площади контакта вносят навалы, образующиеся по периметру отпечатка.

Попытки теоретического учета навалов не получили распространения на практике, т.к. такие модели верны только для определенного материала с известными вязко-упругими свойствами. Сканирование восстановленного отпечатка является на сегодня наиболее эффективным способом определения контактной площади с учетом особенностей пластической деформации исследуемого материала.

В разделе 2 описывается реализация метода измерения твердости по изображению восстановленного отпечатка на поверхности образца. Метод аналогичен классическому методу микроиндентирования, в котором твердость определяется из анализа оптического изображения восстановленного отпечатка. Измерения площади отпечатка на субмикронном и нанометровом масштабах ограничивается разрешающей способностью оптических микроскопов. В этом случае весьма эффективным способом является применение методов СЗМ, позволяющих получать изображения восстановленных отпечатков с нанометровым пространственным разрешением.

Значение твердости в методе рассчитывается по формуле Мейера (Григорович В.К. Твердость и микротвердость металлов, М.:

Наука, 1976) с учетом навалов по периметру восстановленного отпечатка Pmax Hпр =, ( 2 ) Aпроекции + Aобласти отпечатка навалов и представляет собой отношение максимальной приложенной к индентору нагрузки к площади проекции отпечатка и площади образовавшихся навалов, измеренных по СЗМ-изображению отпечатка.

Процесс индентирования в данном методе происходит по алгоритму, аналогичному методу измерительного динамического индентирования (глава 3, раздел 1). Максимальная нагрузка, приложенная к индентору, измеряется по сигналу оптического датчика сканирующего нанотвердомера.

После индентирования производится сканирование восстановленного отпечатка в режиме СЗМ. Нанесение отпечатка и его последующее сканирование производится одним и тем же зондовым датчиком с одним и тем же алмазным индентором, что позволяет избежать трудностей при поиске областей измерений. В результате сканирования строится растровое трехмерное изображение, по которому измеряются геометрические параметры отпечатка и вычисляются необходимые для расчета твердости параметры. Также по изображению определяется область образовавшихся навалов для коррекции значения твердости.

Разработан алгоритм расчета площади проекции отпечатка в плоскости исходной поверхности и площади навалов, образовавшихся по периметру отпечатка. Входными данными алгоритма является полученное при сканировании изображение поверхности, в виде массива чисел z(x, y), где z – высота поверхности образца в данной точке, отсчитываемая от какого-либо фиксированного уровня; x, y – декартовы координаты на горизонтальной плоскости.

Zav а) б) Рисунок 1 – Алгоритм расчета площади проекции отпечатка и площади навалов. а) схема построения веера отрезков; б) определение области навалов.

Для определения области отпечатка строится веер отрезков, соединяющих точку минимума со всеми граничными точками области отпечатка, определяемыми как среднее значение уровня поверхности образца (рисунок 1, а). Все точки отрезка от его начала (т. е. от точки минимума) до границы считаются принадлежащими области отпечатка. Для определения площади навалов также строится веер отрезков из точки минимума. В каждой точке отрезка определяется угол между касательной к поверхности и горизонтальной плоскостью, определяемой значением Zav (рисунок 1, б). Когда угол наклона касательной достигает заданного (предельного) значения, данная точка на отрезке считается вершиной навала. Схемы построения веера отрезков, а также определения угла между касательной к поверхности и горизонтальной плоскостью на приведены на рисунке 1.

Результат работы алгоритма приведен на рисунке 2, на котором представлено трехмерное изображение отпечатка на поверхности стали У10 (рисунок 2, а) и результат работы алгоритма определения площади отпечатка (рисунок 2, б) в плоскости исходной поверхности (темная область) и площади навалов (заштрихованная область).

Область темного треугольника соответствует площади, вычисленной по методу ИДИ. Площадь отпечатка с учетом навалов почти в 1,5 раза больше, что приводит к такой же разнице в определении твердости. Этот пример демонстрирует важность учета площади навалов при измерении твердости на субмикронном и нанометровом масштабах.

а) б) Рисунок 2 – Результат работы алгоритма. Материал: сталь У10.

а) СЗМ-изображение отпечатка; б) расчет площади проекции отпечатка и площади навалов по его периметру.

Одним из достоинств рассматриваемого метода сканирования отпечатка является его сходство с измерением микротвердости методом вдавливания (ГОСТ 9450-76), что позволяет осуществить прямое сравнение значений чисел твердости на разных масштабах.

В четвертой главе описывается реализованный в сканирующем нанотвердомере «НаноСкан-3D» метод измерения твердости царапанием (метод склерометрии).

Измерение твёрдости методом склерометрии заключается в анализе профиля царапин, нанесённых на поверхность материала (рисунок 3). Значение твёрдости исследуемого материала определяют по формуле:

P H = k, ( 3 ) bгде P – нормальное усилие, с которым была нанесена царапина, выраженное в Ньютонах; b – среднеарифметическое значение ширины царапины, выраженное в метрах; k – коэффициент формы индентора для данной ширины царапины. Коэффициент формы индентора k определяют, нанося царапины на меру (изотропный материал с известной твёрдостью), и рассчитывают по формуле:

Hc bk =, ( 4 ) P где Hc – значение твёрдости меры, калиброванной независимым способом (например, по методу Виккерса ).

а) б) Рисунок 3 – Измерение твердости методом склерометрии. а) СЗМизображение царапины; б) схема определения ширины царапины.

При измерении твёрдости на наномасштабе метод склерометрии имеет следующие преимущества перед методами индентирования:

– уменьшение влияния шероховатости и поверхностных дефектов благодаря возможности усреднения данных при обработке одной царапины;

– уменьшение влияния эффекта упругого восстановления ширины царапины по сравнению с периметром отпечатка при индентировании;

– возможность выбора направления при царапании (царапание ребром или гранью);

– простой анализ навалов по краям царапины;

– возможность изучения анизотропии механических свойств.

Для метода склерометрии было проведено исследование влияния направления нанесения царапин. Было показано, что при нанесении царапин гранью индентора наблюдается вариация ширины (и глубины) царапины, что связано, по-видимому, с локальным упрочнением материала перед индентором. Данный результат был подтвержден с помощью математического моделирования процесса царапания гранью вперед методом конечных элементов в системе автоматизированного моделирования ANSYS. Исходя из этого, для всех экспериментов методом склерометрии было выбрано направление нанесения царапин ребром индентора.

Раздел 2 четвертой главы посвящен доработке метода склерометрии для регистрации упруго-пластического поведения материала в процессе измерения. Предложенный способ основан на анализе зависимости глубины внедрения индентора от его продольного перемещения в процессе нанесения царапины, т.е.

траектории движения индентора при нанесении царапины (рисунок 4).

По траектории движения индентора оценивается степень образования навалов по краям царапины. Экспериментально было установлено, что величина всплывания индентора на траектории его движения пропорциональна высоте образовавшихся навалов.

Рисунок 4 – Схема измерения Также траектория движения невосстановленной глубины индентора используется для царапины определения степени упругого восстановления царапины по глубине. На траектории царапины определяется участок с установившимся режимом царапания, т.е установившейся глубиной царапания. Среднее значение глубины данного участка записывается как невосстановленная глубина царапины hSCR (max).

Используя изображение восстановленного следа царапины, согласно графику траектории движения индентора также выделяется участок с установившейся глубиной. Среднее значение этой глубины записывается как восстановленная глубина внедрения индентора hSCR(r). Упругое восстановление глубины царапины рассчитывается по следующей формуле:

hSCR(max) - hSCR(r) R(scr)Z = 100%, ( 5 ) hSCR(max) Значения упругого восстановления по глубине полученные описанным способом совпадают с данными упругого восстановления, полученными методом наноиндентирования.

Пятая глава посвящена экспериментальному исследованию образцов и сравнению результатов, полученных разными методами измерения твердости. Образцы для исследования подбирались таким образом, чтобы они представляли собой разные классы материалов и перекрывали широкий диапазон по твердости. Список материалов представлен в таблице 1.

Pages:     | 1 || 3 | 4 |



© 2011 www.dissers.ru - «Бесплатная электронная библиотека»

Материалы этого сайта размещены для ознакомления, все права принадлежат их авторам.
Если Вы не согласны с тем, что Ваш материал размещён на этом сайте, пожалуйста, напишите нам, мы в течении 1-2 рабочих дней удалим его.