WWW.DISSERS.RU

БЕСПЛАТНАЯ ЭЛЕКТРОННАЯ БИБЛИОТЕКА

   Добро пожаловать!

Pages:     | 1 | 2 ||

0i i(tD) =0i. (59) 1 - bi/(1 - R0i) Cbi(tD) [3] В.Ф. Коваль, В.И. Ватаманюк, Ю.С. Остроухов, О.А. Панченко. ФНТ 12, 880 (1986).

При произвольном соотношении между величина[4] J.C.M. Hwang, R.W. Balluffi. J. Appl. Phys. 50, 1339 (1979).

ми i-1 и di анализ экспериментальных данных может [5] J.C.M. Hwang, J.D. Pan, R.W. Balluffi. J. Appl. Phys. 50, быть осуществлен на основе численного расчета по (1979).

формуле (9), в которой размерная функция определена [6] Р.П. Волкова, Л.С. Палатник, А.Т. Пугачев. ДАН СССР выражением (45). На рис. 4, a-c приведены полученные 259, 351 (1981).

с помощью численного расчета кривые, описывающие [7] Р.П. Волкова, Л.С. Палатник, А.Т. Пугачев. ФТТ 24, временное изменение проводимости двухслойной поли (1982).

кристаллической пленки в условиях взаимной зерногра- [8] Ю.А. Волков, Р.П. Волкова, А.Т. Пугачев. ФММ 62, ничной диффузии при различных значениях параметров. (1986).

[9] Р.П. Волкова, Ю.А. Волков. Металлофиз. новейшие технол. 25, 727 (2003).

5. Заключение [10] Л.В. Дехтярук, Ю.А. Колесниченко. ФММ 75, 21 (1993).

[11] L.V. Dekhtyaruk, Yu.A. Kolesnichenko, V.G. Peschansky.

Итак, взаимная диффузия металлов оказывает сущеPhysics Reviews 20, 3 (2004), ственное влияние на электропроводность двухслойных [12] A.F. Mayadas, M. Shatzkes. Phys. Rev. B 1, 1382 (1970).

металлических пленок с моно- и поликристаллической [13] О.А. Белоус, Л.В. Дехтярук, А.М. Чорноус. Металлофиз.

структурой. При небольших временах диффузионного новейшие технол. 23, 43 (2001).

отжига tD, когда эффективная глубина проникновения [14] L.V. Dekhtyaruk, S.I. Protcenko, A.M. Chornous, I.O. Shpetnyi. Ukr. J. Phys. 49, 587 (2004).

атомов примеси в объем образца DlitD значительно [15] Ю.А. Колесниченко. ФНТ 11, 1165 (1985).

меньше толщины монокристаллических слоев di ДП, [16] Ю.А. Колесниченко. ФНТ 12, 632 (1986).

размерный эффект в ДП определяется шириной чистой [17] А.И. Райченко. Математическая теория диффузии в приобласти. Если же слои ДП имеют поликристаллическую ложениях. Наук. думка, Киев (1981). 394 с.

структуру, то миграция атомов примеси вдоль границ [18] Л.В. Дехтярук, Ю.А. Колесниченко. ФНТ 19, 1013 (1993).

зерен в результате диффузионного отжига изменяет их [19] A.B. Pippard. Proc. Roy. Soc. 224, 273 (1954).

рассеивающую способность, а следовательно, и проводи[20] K. Fuchs. Proc. Cambr. Phil. A 34, 100 (1938).

мость ДП. Экспериментальное измерение проводимости [21] M.S.P. Lucas. J. Appl. Phys. 36, 1632 (1965).

моно- и поликристаллического образца до и после [22] Тонкие пленки: взаимная диффузия и реакция / Под ред.

диффузионного отжига позволяет определить эффективДж. Поута, К. Ту, Дж. Мейера. Мир, М. (1982). 576 с.

ную глубину проникновения атомов примеси в объем [23] J.W. Chan, J.P. Pan, R.W. Balluffi. Scripta Met. 13, 503 (1979).

образца и границы зерен и таким образом оценить [24] J. Kaur, W. Gust. Fundamentals of grain and interphase коэффициенты объемной и зернограничной диффузии по boundary diffusion. Ziegler Press, Stuttgart. (1988). 458 p.

[25] J.C. Fisher. Appl. Phys. 22, 74 (1951).

формулам (33) и (57) соответственно.

[26] С.М. Клоцман. УФН 160, 99 (1991).

Если же характерная глубина проникновения атомов [27] В.И. Верченко, В.И. Гришаев, Л.В. Дехтярук, Ю.А. Колеспримеси в объем слоев и в межкристаллитные границы ниченко, Т.Д. Шермегор. ФММ 69, 102 (1990).

порядка толщины слоев, то для нахождения коэффици[28] A.M. Ghodgaonkar, K. Ramani. Phys. Stat. Sol. (a) 73, Kентов объемной и зернограничной диффузии необходимо (1982).

определить минимальное время диффузии отжига tD min, такое, чтобы при tD > tD min дальнейший диффузионный отжиг двухслойного образца почти не изменял его проводимость [6–9]. В этом случае коэффициенты объемной и зернограничной диффузии могут быть вычислены по формуле (36).

При использовании метода средней концентрации для анализа временного изменения проводимости ДП с моно- и поликристаллической структурой выявленная простая связь между коэффициентами электропроводно сти ДП и параметрами li(tD) (41) и i(tD) (59) также позволяет получить информацию о коэффициентах объемной и зернограничной диффузии.

Физика твердого тела, 2006, том 48, вып.

Pages:     | 1 | 2 ||



© 2011 www.dissers.ru - «Бесплатная электронная библиотека»

Материалы этого сайта размещены для ознакомления, все права принадлежат их авторам.
Если Вы не согласны с тем, что Ваш материал размещён на этом сайте, пожалуйста, напишите нам, мы в течении 1-2 рабочих дней удалим его.