WWW.DISSERS.RU

БЕСПЛАТНАЯ ЭЛЕКТРОННАЯ БИБЛИОТЕКА

   Добро пожаловать!

Pages:     | 1 ||

образования сетки дислокаций. В настоящее время у Поскольку суммарная деформация слоя практически нас нет сведений о том, происходит или нет релаксация не зависит от энергии (в исследованном диапазоне энерпри образовании аморфной прослойки. Однако если это гий), можно оценить среднюю для этих энергий деформаимеет место, то в результате уменьшаются упругие цию на один внедренный ион. В предположении, что она деформации в верхнем кристаллическом слое и среднее вызвана дефектами типа пары Френкеля (междоузлие– значение должно значительно уменьшиться даже вакансия), эта величина может быть пересчитана на копри сохранении большого числа дефектов.

личество атомов кремния, выбитых одним ионом эрбия.

Таким образом, впервые проведено исследование слоПри расчете воспользуемся оценкой, сделанной в [4] ев кремния, имплантированных ионами эрбия, методом для избытка объема v, приходящейся на одну пару рентгеновской дифракции. При введении тяжелых высоФренкеля в кремнии: v = 0.055vSi = 1.1 · 10-24 cm3.

коэнергетических ионов эрбия, как и в случае импланТогда из интегральной деформации, рассчитанной из тации легких ионов с высокими энергиями, наблюдались профилей приведенных на рис. 2, получаем двухкристальные кривые качания трех типов. Трансфор(z)dz · мация кривых качания связана с накоплением радиациn = = 6000.

KvD онных нарушений и последующей аморфизацией монокристаллического слоя. Однако в случае тяжелых ионов Таким образом, каждый ион эрбия, внедренный с энераморфизация наступает при меньших дозах. Полученгиями порядка 1–2 MeV, выбивает около 104 атомов ные результаты продемонстрировали перспективность кремния.

применения рентгеновской дифракции для получения Как следует из данных рентгенодифракционных исданных, характеризующих эволюцию микроструктуры следований имплантированных и диффузионных слоев кремния при имплантации ионов эрбия.

кремния, максимальная деформация, наблюдавшаяся в доаморфном состоянии, составляет величину порядка Авторы благодарят Е.О. Паршина за проведение им(3-4) · 10-3 [4,7,9,13,14].

плантации.

По нашим данным частичная аморфизация при имплантации моноэнергетических ионов наступает при Работа выполнена при поддержке Международного дозе 5 · 1013 cm-2. Если считать, что деформация научно-технического центра (грант № 168) и Российсков первом приближении пропорциональна дозе, то эта го фонда фундаментальных исследований (гранты 96-02величина как раз соответствует уровню максимальной 17901-a и 96-02-16907a).

Физика твердого тела, 1997, том 39, № Рентгенодифракционные исследования кремния, имплантированного ионами эрбия... Список литературы [1] Н.А. Соболев. ФТП 29, 7, 1153 (1995).

[2] D.J. Eaglesham, J. Michel, E.A. Fitzgerald, D.C. Jacobson, J.M. Poate, J.L. Benton, A. Polman, Y.-H. Hie, L.C. Kimerling.

Appl. Phys. Lett. 58, 2797 (1991).

[3] J.S. Custer, A. Polman, H.M. van Pinxteren. J. Appl. Phys. 75, 2809 (1994).

[4] R.N. Kyutt, P.V. Petrashen, L.M. Sorokin. Phys. Stat. Sol. (a) 60, 381 (1980).

[5] E.H. teKaat, G.H. Schwuttke. Advances in X-ray Analysis / Ed. L.F.J. Heinrich et al. Plenum Press, N.-Y. (1972). V. 15.

504 p.

[6] V.S. Speriosu, H.L. Glass, T. Kolayashi. Appl. Phys. Lett. 34, 539 (1979).

[7] P. Zaumseil, U. Winter, F. Cembali, M. Servidori, Z. Sourek.

Phys. Stat. Sol. (a) 100, 95 (1982).

[8] P. Zaumseil, U. Winters. Phys. Stat. Sol. (a) 120, 67 (1990).

[9] В.А. Бушуев, А.П. Петраков. Кристаллография 40, (1995).

[10] J.G.E. Klappe, P.E. Fewster. J. Appl. Cryst. 27, 103 (1994).

[11] G. Bai, M.A. NiKolet. J. Appl. Phys. 70, 649 (1991).

[12] A. Kozanecki, R.J. Wilson, B.J. Sealy, J. Koczanowski, L. Nowicki. Appl Phys. Lett. 67, 1847 (1995).

[13] О.В. Александров, Р.Н. Кютт, Т.Г. Алкснис. ФТТ 22, 10, 2892 (1980).

[14] C.J. Tsai, A. Dommann, M.A. Nicolet, T. Vreeland, J. Appl.

Phys. 69, 2067 (1991).

Физика твердого тела, 1997, том 39, №

Pages:     | 1 ||



© 2011 www.dissers.ru - «Бесплатная электронная библиотека»

Материалы этого сайта размещены для ознакомления, все права принадлежат их авторам.
Если Вы не согласны с тем, что Ваш материал размещён на этом сайте, пожалуйста, напишите нам, мы в течении 1-2 рабочих дней удалим его.