WWW.DISSERS.RU

БЕСПЛАТНАЯ ЭЛЕКТРОННАЯ БИБЛИОТЕКА

   Добро пожаловать!

Pages:     | 1 ||

[5] A. li, D. Wu, C.Z. Ge, H. Wang, Min Wang, Mu Wan, Z. Liu, N. Ming. Thin Solid Films 375, 220 (2000).

[6] Y.S. Yoon, S.S. Yom, T.W. Kim, D.U. Lee, C.D. Kim. Appl.

Surf. Sci. 93, 285 (1996).

[7] А.С. Сидоркин, А.С. Сигов, А.М. Ховив, С.О. Яценко, О.Б. Яценко. ФТТ 42, 4, 727 (2000).

Рис. 8. Петля диэлектрического гистерезиса тонкопленочной [8] Ш. Мьюрарка. Силициды для СБИС. Мир, М.: (1986).

гетероструктуры Pb/Ti/Si после отжига в атмосфере кислорода 176 с.

при T1 = 473 K, T2 = 973 K в течение 10 min.

[9] П.А. Щеглов, С.А. Меньших, Л.Ф. Рыбакова, Ю.Я. Тамашпольский. Неорган. материалы 36, 4, 470 (2000).

[10] F.M. Pontes, J.H.G. Rangel, E.R. Leite, E. Longo, J.A. Varela, E.B. Araujo, J.A. Eiras. Thin solid Films 366, 232 (2000).

поведения даже при температуре отжига T = 1173 K, хотя в них методом РФА в качестве основной фазы и детектируется PbTiO3.

Проведенные исследования позволяют сделать следующие выводы. Состав, кристаллическая структура и электрические свойства пленок после отжига при прочих равных условиях контролируются порядком чередования исходных слоев Pb и Ti на монокристаллическом кремнии при их магнетронном напылении. В случае структуры свинец–титан–кремний оксиды свинца, которые формируются на верхней границе раздела, не только не препятствуют проникновению кислорода к нижним слоям, но и, наоборот, передают кислород титану, например за счет восстановления оксида свинца металлическим титаном. Поскольку оксидирование осуществляется в потоке кислорода, происходит многократное окисление свинца и передача кислорода. Часть титана остается в металлическом состоянии, что обеспечивается, с одной стороны, оксидированием внешнего слоя свинца, а с другой — диффузией кремния в титан, которая блокирует каналы для диффузии кислорода. В результате снижается температура образования титаната и формируются гетероструктуры на основе титаната свинца с оксидами свинца, проявляющие ярко выраженные сегнетоэлектрические свойства. В случае структуры титан– свинец–кремний происходит практически независимое формирование оксидов титана и свинца на кремнии с последующим их взаимодействием с образованием титаната свинца. Данное обстоятельство приводит к тому, что в конечном состоянии гетероструктура наряду с титанатом свинца содержит оксид титана и проявляет в целом диэлектрические свойства.

Таким образом, изменяя порядок чередования слоев свинца и титана, можно активизировать или тормозить воздействие кислорода и кремния и управлять составом, структурой и свойствами пленок, образующихся в процессе отжига указанных структур.

Физика твердого тела, 2002, том 44, вып.

Pages:     | 1 ||



© 2011 www.dissers.ru - «Бесплатная электронная библиотека»

Материалы этого сайта размещены для ознакомления, все права принадлежат их авторам.
Если Вы не согласны с тем, что Ваш материал размещён на этом сайте, пожалуйста, напишите нам, мы в течении 1-2 рабочих дней удалим его.