WWW.DISSERS.RU

БЕСПЛАТНАЯ ЭЛЕКТРОННАЯ БИБЛИОТЕКА

   Добро пожаловать!


На правах рукописи

Калинин Борис Вячеславович

РАЗРАБОТКА МОЩНОГО ПОЛЕВОГО ТРАНЗИСТОРА С ВЫСОКОЙ ПОДВИЖНОСТЬЮ ЭЛЕКТРОНОВ НА ОСНОВЕ ГЕТЕРОСТРУКТУР (Al,Ga)N/GaN

Специальность: 05.27.01 – Твердотельная электроника, радиоэлектронные компоненты, микро- и наноэлектроника, приборы на квантовых эффектах

АВТОРЕФЕРАТ

диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук

Санкт-Петербург 2012

Работа выполнена в Санкт-Петербургском государственном электротехническом университете «ЛЭТИ» им. В. И. Ульянова (Ленина).

Научный консультант:

доктор физико-математических наук, профессор Пихтин Александр Николаевич

Официальные оппоненты:

доктор технических наук, профессор Селезнев Борис Иванович, Институт электронных и информационных систем, ректор;

кандидат физико-математических наук Александров Сергей Борисович, ЗАО «Элтех-СПб», заместитель генерального директора

Ведущая организация: Открытое акционерное общество «ОКБ-Планета»

Защита состоится «___» _______ 2012 г. в _____ часов на заседании диссертационного совета Д 212.238.04 Санкт-Петербургского государственного электротехнического университета «ЛЭТИ» им. В. И. Ульянова (Ленина) по адресу: 197376, Санкт-Петербург, ул. Проф. Попова, 5.

С диссертацией можно ознакомится в библиотеке СПбГЭТУ «ЛЭТИ».

Автореферат разослан «____» ___________ 2012 г.

Ученый секретарь совета по защите докторских и кандидатских диссертаций, д. ф. - м. н., профессор Мошников В. А.

ОБЩАЯ ХАРАКТЕРИСТИКА РАБОТЫ



Актуальность темы. В последние тридцать лет для создания СВЧ- усилителей мощности в основном используются арсенид галлия и гетероструктуры на его основе. Недавние исследования выявили ряд новых широкозонных материалов, которые превосходят традиционные полупроводники по основным характеристикам. Использование таких материалов позволяет создавать монолитные и гибридно-монолитные схемы с высокими плотностями мощности и к. п. д. до 70 %. В настоящее время быстро развивается технология производства активных элементов на основе гетероструктур (Al,Ga)N/GaN. Их применение позволит улучшить существующие СВЧ-системы сразу по нескольким параметрам. Например, в усилительных трактах приёмо-передающих модулей активных фазированных антенных решёток станет возможным увеличить удельную мощность антенны, уменьшить массогабаритные характеристики, существенно упростить системы охлаждения. Последнее преимущество связано с тем, что транзисторы на этих гетероструктурах могут обеспечивать требуемые характеристики вплоть до температур ~600 оС. Кроме того, приборы, использующие гетероструктуры (Al,Ga)N/GaN, устойчивы к воздействию радиации, что даёт им преимущества в военной и космической отраслях. Возможно использование таких гетероструктур для изготовления не только мощных, но и малошумящих усилителей, выдерживающих сигналы высокой мощности, попадающие на вход при отсутствии дополнительной защиты. При этом гетероструктуры (Al,Ga)N/GaN не уступают гетероструктурам (Al,Ga)As/GaAs по величине минимально достижимого коэффициента шума.

Технология изготовления транзисторных гетероструктур (Al,Ga)N/GaN появилась относительно недавно, поэтому в настоящее время ещё существуют технологические проблемы как в области гетероэпитаксии, так и в области формирования транзисторов. Это связано с тем, что к транзисторам на гетероструктурах (Al,Ga)N/GaN предъявляются несколько иные требования, чем к транзисторам на гетероструктурах (Al,Ga)As/GaAs. Кроме того, встречаются трудности при расчёте электри ческих схем на основе таких транзисторов, потому что становятся важны те части транзисторных характеристик, которые раньше не учитывались.

Настоящая диссертация посвящена решению проблем, возникающих в процессе изготовления и испытания транзисторов на основе гетероструктур (Al,Ga)N/GaN. В работе приведена нелинейная аналитическая модель такого транзистора, которая позволяет рассчитывать амплитудные характеристики СВЧ-усилителей мощности в режиме большого сигнала более точно, чем модели, используемые в настоящее время. Кроме того, приведены примеры расчёта двух усилителей мощности, работающих в S-, L- и C-диапазонах, с применением представленной модели. Полученные результаты будут интересны специалистам в области физики и техники полупроводников.

Объектом исследования в настоящей работе являлись мощные СВЧ-транзисторы с высокой подвижностью электронов на основе гетероструктур (Al,Ga)N/GaN, применяющиеся в СВЧ-усилителях мощности.

Целью диссертации являлись разработка и исследование мощного полевого транзистора на основе гетероструктур (Al,Ga)N/GaN, а также создание математической модели, способной описать его характеристики, позволяющей увеличить точность расчёта и упростить использование таких транзисторов при создании монолитных и квазимонолитных интегральных СВЧ-усилителей мощности.

Поставленная цель достигается при решении следующих задач:

исследование электрофизических и СВЧ-параметров транзисторов на основе гетероструктур (Al,Ga)N/GaN;

определение параметров транзистора, требующих учета при разработке усилителей мощности, и разработка методики их идентификации;

разработка аналитической модели транзистора, учитывающей такие параметры;

встраивание разработанной модели в пакет программ для расчётов нелинейных СВЧ-цепей;

создание методики оценки приборных и электрофизических параметров гетероструктур, а также влияния этапов постростовой обработки транзисторных нитридных гетероструктур на эти параметры;

применение разработанных моделей при расчёте усилителя мощности;

создание ряда широкополосных и сверхширокополосных усилителей мощности S-, L- и C-диапазонов частот с использование транзисторов на основе гетероструктур (Al,Ga)N/GaN.

Научная новизна результатов работы заключается в следующем:





исследованы вольт-амперные характеристики полевого транзистора и предложено их уточненное математическое описание в предпороговой области рабочих напряжений;

исследованы вольт-фарадные характеристики полевого транзистора и предложено их уточненное математическое описание в предпороговой области рабочих напряжений;

установлено, что под действием большого входного СВЧ-сигнала происходит дополнительный разогрев канала транзистора, который необходимо учитывать при расчёте усилителей мощности;

показано, что разработанные модели позволяют более точно рассчитывать цепи согласования и режимы работы усилителей и в результате этого увеличивать их выходную мощность.

Практическая значимость работы определяется следующими положениями:

разработана и реализована конструкция мощного полевого транзистора на основе ДГС (Al,Ga)N/GaN/(Al,Ga)N со следующими характеристиками: ток стока 1000 мА, пробивное напряжение «затвор сток» 100 В, крутизна ВАХ 200 мСм/мм при длине затвора 0,5 мкм и ширине затвора 1200 мкм;

разработана методика расчета электрофизических параметров и создана аналитическая модель полевого транзистора с высокой подвижностью электронов на основе гетероструктур (Al,Ga)N/GaN;

разработана и реализована конструкция трёх мощных полевых транзисторов на одном кристалле с шириной затворов 300, 600 и 900 мкм на основе ДГС (Al,Ga)N/GaN/(Al,Ga)N, предназначенных для создания трёх каскадных усилителей мощности;

разработан и реализован первый отечественный СВЧ- усилитель мощности на основе гетероструктур (Al,Ga)N/GaN со следующими параметрами: рабочий диапазон частот 0,14 ГГц, коэффициент усиления 1725 дБ, выходная мощность до 2 Вт;

разработан и реализован гибридно-монолитный балансный СВЧусилитель мощности со следующими параметрами: рабочий диапазон частот 46 ГГц, коэффициент усиления 10 дБ, выходная мощность 12 Вт.

Научные положения, выносимые на защиту Аналитическая модель мощного субмикронного полевого транзистора, построенная на основе электрофизических параметров гетероструктуры (Al,Ga)N/GaN и геометрии транзистора, позволяет рассчитывать его вольт-амперные и вольт-фарадные, а также СВЧ-характеристики в режиме большого сигнала.

Введение критического параметра, учитывающего разогрев затвора и канала транзистора при превышении предельных значений мощности СВЧ-сигнала, адекватно описывает эксперимент. Значение предельной мощности определяется не только физико-химическими, но и геометрическими параметрами.

Разработанные модели, учитывающие особенности вольтамперных и вольт-фарадных характеристик гетероструктур на предпороговых участках, позволяют подобрать режим согласования СВЧ-транзистора с нагрузкой или последующим каскадом для получения максимальной мощности.

Апробация результатов. Основные результаты диссертационной работы апробированы на следующих конференциях:

Седьмая всероссийская конференция «Нитриды галлия, индия и алюминия: структуры и приборы» (Москва, 2010);

Третья общероссийская конференция «Обмен опытом в области создания сверхширокополосных РЭС» (Омск, 2010);

Всероссийская конференция молодых учёных «Новые материалы и нанотехнологии в электронике СВЧ» (Санкт-Петербург, 2010);

Научно-техническая конференция профессорско-преподавательского состава СПбГЭТУ «ЛЭТИ» (Санкт-Петербург, 2011г.).

Достоверность и обоснованность научных положений и выводов подтверждается:

реализацией мощного полевого транзистора, не уступающего по своим характеристикам лучшим мировым аналогам;

реализацией на основе такого транзистора двух усилителей мощности, не уступающих по параметрам лучшим мировым аналогам;

использованием современных методов анализа и новейших образцов технологического и измерительного оборудования;

соответствием практических результатов работы литературным данным.

Публикации. По теме диссертации получен патент на изобретение и опубликованы 5 научных работ, в том числе: 1 статья в ведущих научных изданиях, входящих в перечень ВАК, и тексты 3 докладов на международных научных конференциях и симпозиумах.

Структура и объем диссертации. Работа состоит из введения, четырёх глав, заключения, приложения и списка литературы, включающего 135 наименований. Основной материал изложен на 104 страницах и содержит 45 рисунков и 15 таблиц.

СОДЕРЖАНИЕ РАБОТЫ

Во введении обоснована актуальность темы, определены цель и задачи работы, сформулированы положения о научной новизне и практической значимости полученных результатов, а также научные положения, выносимые на защиту.

Первая глава носит обзорный характер, в ней обобщены и систематизированы литературные данные по разработке, исследованию, изготовлению и применению мощных полевых транзисторов на основе гетероструктур (Al,Ga)N/GaN. Изложены основные принципы создания мощных СВЧ-транзисторов. Обоснована актуальность применения при создании СВЧ-усилителей мощности транзисторов с двойной гетероструктурой типа (Al,Ga)N/GaN. Рассмотрены основные особенности таких гетероструктур.

Продемонстрированы основные принципы моделирования транзисторов для разработки усилителей мощности. Показано, что используемые в настоящее время модели СВЧ-транзисторов не в полной мере описывают их характеристики, поскольку при разработке СВЧ-усилителей мощности важно учитывать эффекты саморазогрева канала и затвора транзистора и их влияние на СВЧ-характеристики. Рассмотрены зависимости температуры канала транзистора от толщины и количества слоёв, формирующих чип транзистора, а также от предпороговых эффектов и топологических особенностей затвора транзистора.

На основании анализа литературы сформулированы цель и задачи диссертационной работы.

Во второй главе проведён выбор гетероструктуры, позволяющей создавать нелинейные СВЧ-устройства с высокими плотностями мощности, и описана методика проводимых исследований. В ходе работы с применением современного технологического и измерительного оборудования исследовались электрофизические, а также линейные и нелинейные СВЧпараметры транзисторов. В работе использовались как усовершенствованные классические методики, так и оригинальные методики оценки характеристик транзисторов, разработанные автором.

Для низкочастотных измерений применялись измеритель параметров полупроводниковых устройств HP4145B и измеритель вольт-фарадных и вольт-сименсных характеристик HP4280A, а также зондовая станция «Зонд-А5». Для измерения линейных СВЧ-характеристик в полосе частот от 500 МГц до 20 ГГц применялись векторный анализатор цепей HP8510A, источники постоянного тока HP6038A, зондовая станция Cascade Microtech M40 с копланарными СВЧ-зондами. Для измерения мощностных характеристик использовались измеритель средней мощности Agilent E4419B, специально разработанная схема включения транзистора с широкополосными цепями питания и источники постоянного тока. Топология транзистора была разработана, исходя из необходимости измерения его характеристик на СВЧ зондовой станции (рис. 1, а).

Проведено сравнение используемого транзистора с известными аналогами. Показано, что, несмотря на то, что транзистор, созданный в рамках настоящей работы не уступает зарубежным аналогам, существуют проблемы, которые ограничивают его применение, в частности, отсутствует аналитическая модель, адекватно описывающая его работу в режиме большого сигнала.

а б Рис. 1. Топология тестового СВЧ-транзистора (а) и расположение слоёв гетероструктуры (б) В третьей главе проведён анализ известных аналитических нелинейных моделей мощных полевых транзисторов. Представлены результаты разработки аналитической модели субмикронного транзистора с высокой подвижностью электронов на гетероструктурах (Al,Ga)N/GaN. За основу была взята нелинейная модель полевого транзистора [1], [2], которая описывается эквивалентной схемой (рис. 2). Основными её элементами являются три нелинейных источника тока, управляемых напряжением (Ids, Igs, Igd), и два источника заряда, управляемых напряжением (Cgd, Cgs). Кроме того, в схему введён ряд элементов, уточняющих описание высокочастотных характеристик транзистора.

Экспериментальные исследования вольт-амперных характеристик транзисторов на гетероструктурах (Al,Ga)N/GaN показали значительное падение тока стока при увеличение напряжения «стокисток» и при напряжении на затворе, близком к нулю (рис. 3). Это может быть вызвано двумя эффектами:

увеличением рассеиваемой мощности транзистора и, как следствие, увеличением температуры его канала;

коллапсом тока под действием высоких напряжений.

Рис. 2. Эквивалентная схема нелинейной модели полевого транзистора[1] Но, как было показано во второй главе, в гетероструктурах на основе (Al,Ga)N/GaN с двойным ограничением канала эффекты коллапса практически отсутствуют, и потому падение тока стока может быть описано достаточно простым выражением, учитывающим потребляемую устройством мощность. При напряжениях на затворе, близких к напряжению отсечки, наблюдается увеличение тока стока при увеличении напряжения на стоке.

Этот эффект связан с тем, что на гетероструктурах (Al,Ga)N/GaN барьер Шоттки имеет достаточно высокие токи утечки, которые проявляются подобным образом на вольт-амперных характеристиках. Учёт затворного тока в характеристиках тока стока позволяет точнее описать ход кривой. На рис. 4 показаны зависимости тока стока и крутизны от напряжения на затворе при нескольких напряжениях на стоке. Как видно из графиков, расчётные кривые достаточно точно описывают измеренные характеристики.

В ходе анализа характеристик транзисторов на гетероструктурах (Al,Ga)N/GaN были выработаны рекомендации по проектированию усилителей мощности на их основе.

Ic, А 0,0,Vзи=0 В Vзи=1 В Vзи=2 В 0,2 Vзи=3 В Vзи=4 В Vзи=5 В 0 10 Vcи, В Vзи=6 В Рис. 3. Семейство ВАХ транзистора на гетероструктурах GaN/AlGaN. Сравнение расчётных (непрерывная линия) и измеренных (точки) характеристик Точность описания вольт-фарадных характеристик может значительно влиять на результаты расчётов различных нелинейных схем, в частности, схем СВЧ-усилителей мощности. Используемые в настоящее вреIc, А Vси=5 В S, мСм Vси=10 В 0,Vси=15 В 1Vси=20 В 0,1Vси=5 В Vси=10 В 0,Vси=15 В Vси=20 В 5 10 10 Vзи, В Vзи, В а б Рис. 4. Зависимости тока стока (а) и крутизны (б) от напряжения на затворе транзистора на гетероструктурах (Al,Ga)N/GaN. Сравнение расчётных (непрерывная линия) и измеренных (точки) характеристик мя модели вольт-фарадных характеристик для Spice-анализа базируются на выражениях для заряда, содержащегося в такой емкости и зависящего от напряжения. Для емкости, нелинейно зависящей от приложенного напряжения, справедливо выражение:.

В литературе предлагается несколько функций для аппроксимации такой зависимости. Модели, предложенные в [1] и [2], недостаточно точны при напряжениях, близких к напряжению отсечки. Это связано с тем, что для описания области перегиба используется симметричная функция, в результате чего кривая в области напряжений вблизи напряжения отсечки расходится с экспериментальными данными. Вольт-фарадную характеристику транзистора на гетероструктурах (Al,Ga)N/GaN можно разделить на три области [3] (рис. 5).

Cзи, мкФ/смII III I Vзи, В Рис. 5. Вольт-фарадная характеристика транзистора на гетероструктурах (Al,Ga)N/GaN. Сравнение расчётных (непрерывная линия) и измеренных (кресты) характеристик Область I обусловлена наличием между затвором и слоем двумерного электронного газа (2DEG) легированной области (Al,Ga)N с высокой концентрацией свободных носителей. При подаче отрицательного смещения на электрод с барьером Шоттки толщина обедненного слоя увеличивается, а значит ёмкость уменьшается. При увеличении смещающего потенциала зависимость переходит в область II, где емкость связана с глубиной залегания слоя 2DEG. Таким образом, возникает конденсатор, одной об кладкой которого служит электрод катода, а другой – слой 2DEG. При дальнейшей подаче смещающего потенциала (вплоть до порогового) ёмкость перехода меняется незначительно, что объясняется искривлением зон в области гетероперехода. Когда напряжение становится больше напряжения отсечки остаётся только ёмкость, связанная с геометрическими ёмкостями электродов и ёмкостью, создаваемой в объёме гетероструктуры зарядом свободных носителей.

ns,*1012, смМодель Эксперимент 25 26 27 28 29 Глубина, нм Рис. 6. Зависимость поверхностной концентрации электронов от глубины. Сравнение расчётных (непрерывная линия) и измеренных (кресты) характеристик.

Полученные математические выражения были «встроены» в нелинейную модель полевого транзистора из работы [2] в программной среде автоматизированного проектирования AWR Microwave Office, чтобы в дальнейшем рассчитать нелинейные амплитудные характеристики транзистора и усилителей мощности на его основе.

В четвертой главе рассмотрены вопросы ограничения выходной мощности СВЧ-усилителей, связанные с падением к. п. д. Важным ограничением такого типа является резкое возрастание плотности высокочастотных токов в металле затвора. Это приводит к чрезмерному разогреву, снижению коэффициента усиления, снижению к. п. д. и выходу изделия из строя. В рамках диссертации была исследована работа транзистора на гетероструктурах (Al,Ga)N/GaN в импульсном и непрерывном режимах. На основе полученных данных сделаны выводы о значительном влиянии этого эффекта на работу транзистора.

Для расчёта плотностей высокочастотных токов в затворе транзистора была разработана численная модель такого затвора, позволяющая рассчитать его высокочастотные характеристики. Для балочного затвора длиной 0,5 мкм и высотой 0,5 мкм получена линейная плотность тока 3мА/мкм при входной мощности 100 мВт на затворе. Причём наибольшая линейная плотность тока в такой геометрии достигается в месте перехода с металла разводки на затвор (рис. 7).

330 мА/мкм 250 мА/мкм 170 мА/мкм 83 мА/мкм 0 мА/мкм Рис. 7. Распределение линейной плотности высокочастотного тока в затворе транзистора При линейной плотности тока 250 мА/мкм температура затвора может достигать 350-370 0С [4], что приводит к перегреву канала транзистора и снижению коэффициента усиления по мощности.

Для уменьшения линейной плотности тока была оптимизирована геометрия затвора. Для этого были проанализированы её различные варианты, в том числе уже применяемые в современной СВЧмикроэлектронике. Наилучшим вариантом оказалась комбинация нескольких видов топологии, содержащая грибообразный затвор, соединённый с изолированным затвором в месте перехода с металла разводки на затвор и в месте окончания затвора. Такая топология приводит к уменьшению общей линейной плотности тока и более равномерному его распределению по ширине при ширине затвора менее 100 мкм. Кроме того, предложенная топология мало влияет на СВЧ-характеристики транзистора.

В приложении приведены методики расчёта усилителей мощности.

Представлены результаты разработки сверхширокополосного усилителя мощности для диапазона частот 100 МГц – 4 ГГц с выходной мощность до 2 Вт и широкополосного усилителя мощности для диапазона частот 4 – ГГц с выходной мощность до 12 Вт. Приведено сравнение результатов расчёта и экспериментального исследования линейных и нелинейных СВЧ-параметров этих усилителей. Рассмотрено влияние параметров модели на характеристики конечного устройства. Благодаря полученным результатам, стало возможным оптимизировать схему широкополосного усилителя мощности.

В заключении сформулированы основные результаты работы.

ОСНОВНЫЕ РЕЗУЛЬТАТЫ РАБОТЫ:

выбрана гетероструктура, оптимально подходящая для создания усилителей мощности;

разработаны модели вольт-амперных и вольт-фарадных характеристик транзистора на гетероструктурах (Al,Ga)N/GaN;

определено влияние сигнала высокой мощности на характеристики транзистора и разработаны рекомендации по снижению этого эффекта;

разработаны СВЧ-усилители мощности S-, L-, C-диапазонов.

Цитируемая литература:

1. Statz H. GaAs FET Device and Circuit Simulation in SPICE // IEEE Transaction Electron Devices. 1987, Vol. ED-34.

2. Angelov I., Zirath H., Rorsman N. A new empirical nonlinear model for HEMT and MESFET devices // IEEE Transaction on MTT. 1992, Vol. 40, № 12.

3. Dang X. Z., Asbeck P. M. Measurement of drift mobility in AlGaN/GaN heterostructure field-effect transistor // Applied physics letter.

1999, Vol 74, № 25.

4. Селезнёв Б. И., Романов В. Л., Драгуть М. В. Влияние токовой обработки затвора на параметры ПТШ на основе арсенида галлия // Физика и химия новых материалов, Саранск: Изд-во Мордов. ун-та, 2008, №1.

ОСНОВНЫЕ ПУБЛИКАЦИИ ПО ТЕМЕ ДИССЕРТАЦИИ В изданиях, рекомендованных ВАК России:

1. Калинин Б. В., Ламкин И. А., Тарасов С. А. Моделирование вольтфарадных и вольт-амперных характеристик DHFET на основе гетероструктур AlGaN / GaN // Известия СПбГЭТУ «ЛЭТИ», 2012. №2., стр. 16-Другие статьи и материалы конференций:

2. Пат. РФ № 2354010 / В. Г. Гук, Б. В. Калинин, Г. А. Филаретов и др. Трехэлектродный высокочастотный полупроводниковый прибор;

опубл. 27.04.2009.

3. Квазимонолитный сверхширокополосный СВЧ-усилитель мощности на основе гетеростуктур AlGaN/GaN / Б. В. Калинин, В. Г. Гук, В. П.

Чалый, А. Н. Пихтин // Материалы 7-й Всероссийской конференции «Нитриды галлия, индия и алюминия: структуры и приборы». – М. :Изд-во МГУ, 2010.

4. Разработка СВЧ монолитной ЭКБ на базе GaAs и GaN технологий / В. Г. Гук, Б. В. Калинин, Г. А. Филаретов, Л. Б. Шустерман // Материалы 3-й общероссийской научно-технической конференции «Обмен опытом в области создания сверхширокополосных РЭС» / Омск: Изд-во ОмГТУ, 2010.

5. Усилитель мощности С-диапазона на гетероструктурах GaNAlGaN / Б. В. Калинин, Л. Н. Житомирский, А. Ю. Белов и др. // Материалы 1-й Всероссийской конференции молодых учёных «Новые материалы и нанотехнологии в СВЧ-электронике». – СПБ.: Изд-во СПбГЭТУ «ЛЭТИ», 2010.

Подписано в печать Формат 60х841/16 Цифровая Печ. л. 1.Уч.-изд.л. 1.0 Тираж 100 Заказ печать Отпечатано в типографии СПбГЭТУ «ЛЭТИ»






© 2011 www.dissers.ru - «Бесплатная электронная библиотека»

Материалы этого сайта размещены для ознакомления, все права принадлежат их авторам.
Если Вы не согласны с тем, что Ваш материал размещён на этом сайте, пожалуйста, напишите нам, мы в течении 1-2 рабочих дней удалим его.