WWW.DISSERS.RU

БЕСПЛАТНАЯ ЭЛЕКТРОННАЯ БИБЛИОТЕКА

   Добро пожаловать!

На правах рукописи

СЕРГЕЕВ АЛЕКСАНДР ЕВГЕНЬЕВИЧ

МОДЕЛИРОВАНИЕ ТЕХНОЛОГИЧЕСКОГО ПРОЦЕССА МАГНЕТРОННОГО РАСПЫЛЕНИЯ, ОБЕСПЕЧИВАЮЩЕГО ЗАДАННЫЕ ФИЗИКО-МЕХАНИЧЕСКИЕ СВОЙСТВА НАНОКОМПОЗИТНЫХ ПОКРЫТИЙ МЕТАЛЛОРЕЖУЩЕГО ИНСТРУМЕНТА

Специальность 05.02.07 – Технология и оборудование механической и физико-технической обработки

АВТОРЕФЕРАТ

диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук

Рыбинск – 2012

Работа выполнена в федеральном государственном бюджетном образовательном учреждении высшего профессионального образования «Рыбинский государственный авиационный технический университет имени П.А. Соловьева».

Научный консультант:

заслуженный работник высшей школы РФ, доктор технических наук, профессор Кожина Татьяна Дмитриевна.

Официальные оппоненты:

Белкин Павел Николаевич, доктор технических наук, профессор, Костромской государственный технологический университет имени Н.А. Некрасова, заведующий кафедрой «Общая физика»;

Башков Валерий Михайлович, кандидат технических наук, доцент, Московский государственный технический университет имени Н.Э. Баумана, директор Учебно-инженерного центра нанотехнологий, нано- и микросистемной техники.

Ведущая организация:

Ярославский государственный университет имени П.Г. Демидова, центр коллективного пользования научным оборудованием «Диагностика микро- и нано структур», г. Ярославль.

Защита диссертации состоится 30 мая 2012 г. в 12:00 на заседании диссертационного совета Д 212.210.01 в федеральном государственном бюджетном образовательном учреждении высшего профессионального образования «Рыбинский государственный авиационный технический университет имени П.А. Соловьева» по адресу: 152934, г. Рыбинск, Ярославской области, ул. Пушкина, 53, ауд. Г-237.

С диссертацией можно ознакомиться в библиотеке в федеральном государственном бюджетном образовательном учреждении высшего профессионального образования «Рыбинский государственный авиационный технический университет имени П.А. Соловьева».

Автореферат разослан 28 апреля 2012г.

Ученый секретарь диссертационного совета Конюхов Борис Михайлович

Актуальность работы Современные наноструктурированные покрытия повышают износостойкость инструмента, что позволяет увеличить срок его службы и производить обработку металлов на более высоких скоростях. Улучшение технических характеристик (твердость, вязкость) металлорежущего инструмента с нанокомпозитными тонкими пленками приводит к существенному увеличению производительности труда и снижению себестоимости изготавливаемой продукции.

Применение современных защитных тонких пленок позволяет использовать инструмент с нанопокрытями и осуществлять его переточку до 12 раз.

Наибольший потенциал для повышения эксплуатационных свойств металлорежущего инструмента, таких как твердость HB, прочность и, теплостойкость ТП, стойкость к истиранию Ти, окислительная стойкость Tок заключается в правильном выборе и расчете свойств химического состава и структуры покрытия для конкретных условий работы, а так же совершенствовании технологии формирования наноструктурированных износостойких покрытий. Эксплуатационные свойства металлорежущего инструмента в основном определяются свойствами наносимых тонких пленок, поскольку именно они взаимодействуют с обрабатываемой поверхностью.

Одним из способов решения проблемы получения нанокомпозитных покрытий с заданными физико-механическими характеристиками, такими как инденторная твердость H, модуль упругости Е, степень адгезии покрытия к подложке HF и другие, является совершенствование физико-технических процессов их синтеза. Поэтому лидеры по производству металлорежущего инструмента, такие как Sandvik Coromant, Balzers Aerlicon, Iscar, Mitsubishi, Dormer, Walter, ЗАО «Новые инструментальные решения» и другие, ведут активные разработки в данном направлении.

В настоящее время наиболее перспективными методами нанесения покрытий являются вакуумные ионно-плазменные технологии. Среди них можно выделить метод магнетронного распыления, поскольку использующийся в нем дрейфовый ток электронов в скрещенных электрическом и магнитном полях позволяет обеспечить однородность наносимых покрытий на значительных площадях распыления, а также сформировать мелко- и супермелкодисперсные структуры.

Одной из главных проблем нанесения тонкопленочных покрытий на металлорежущий инструмент методом магнетронного распыления является невозможность точно спрогнозировать их состав и структуру, поскольку существует множество факторов, влияющих на свойства получаемого покрытия.

Одним из наиболее значимых параметров технологического процесса синтеза нанокомпозитного покрытия является ионная энергия распыляемых атомов.

Изучением ионной энергии и ионных потоков распыляемых атомов занимались многие российские и зарубежные ученые (Григорьев С.Н., Табаков В.П.

Верещака А.С., J. Moor, B. Mishra, W.D. Sproul, L. Hultman). Однако большинство работ посвящены исследованию влияния вольт-амперных характеристик на величину ионной энергии и распределение потока ионов, и до настоящего времени не было рассмотрено влияние параметров импульса: частоты импульсов и времени паузы. Контроль за величиной ионной энергии и распределением ионных потоков распыляемых атомов растущих тонких пленок за счет варьирования частотных характеристик может использоваться для моделирования и совершенствования структуры и свойств пленки с заданными физикомеханическими характеристиками покрытия и интенсификации процесса магнетронного распыления. Необходимо определить, какое именно воздействие частота импульсов и время паузы оказывают на физико-механические характеристики получаемых высококачественных покрытий. Исходя из этого, была сформулирована цель работы.

Цель работы: Разработка механизма моделирования технологического процесса магнетронного получения нанокомпозитных пленок на металлорежущем инструменте, обеспечивающего его заданные физико-механические характеристики, путем управления импульсными параметрами плазмы.

Для достижения этой цели в работе поставлены следующие задачи:

1. Выявить наиболее эффективные магнетронно-распылительные системы, позволяющие обеспечить заданное значение ионной энергии, при нанесении нанокомпозитных покрытий на металлорежущий инструмент.

2. Получить математические модели определения потока ионов в плазме и их распределения в процессе синтеза тонких пленок, на основе которых разработать механизм моделирования технологического процесса магнетронного распыления, обеспечивающего заданные физико-механические свойства нанокомпозитных покрытий металлорежущего инструмента.

3. Установить влияние частоты импульсов и времени паузы при дуальном несбалансированном магнетронном распылении с полем закрытого типа на физико-механические свойства получаемого нанокомпозитного покрытия AlTiN.

4. Получить оптимальные режимы осаждения покрытия AlTiN на металлорежущий инструмент по величине ионной энергии распыляемых атомов, с целью обеспечения его заданных физико-механических характеристик.

5. Определить достоверность полученных теоретических данных, провести сравнительные стойкостные испытания металлорежущего инструмента с полученным нанокомпозитным покрытием AlTiN и инструмента с аналогичным покрытием, рекомендованным фирмой-производителем.

Методы исследований основаны на теоретических исследованиях, проводимых с использованием фундаментальных положений механики, численных методов с их верификацией, моделировании и методах экспериментального исследования процессов физико-технической обработки. Экспериментальные исследования выполнены в производственных и лабораторных условиях на специальном оборудовании с использованием системы автоматизированной фиксации экспериментальных данных и их обработкой с использованием программных продуктов Mathsoft, Mathcad, Microsoft Office Excel.

Достоверность полученных результатов обеспечивается использованием современных методов обработки расчетных и экспериментальных данных, реализуемых с помощью программного продуктаMicrosoft Excel.

На защиту выносятся:

- Математическая модель распределения ионов по энергиям в процессе синтеза нанокомпозитного покрытия, учитывающая частоту электрон-атомных столкновений в скрещенных электрических и магнитных полях.

- Механизм моделирования технологического процесса магнетронного распыления, обеспечивающего заданные физико-механические свойства нанокомпозитных покрытий металлорежущего инструмента.

- Результаты исследования влияния частоты импульсов и времени паузы на структуру и свойства нанокомпозитного покрытия AlTiN.

- Технологические режимы нанесения нанокомпозитных покрытий AlTiN методом магнетронного распыления с использованием контролируемой ионной бомбардировки для обеспечения заданных физико-механических характеристик тонкой пленки.

- Рекомендации по повышению эффективности процесса магнетронного распыления путем управления ионной энергией распыляемых атомов за счет задания соответствующих импульсных характеристик процесса синтеза.

Научная новизна работы заключается в предложенном автором механизме моделирования технологического процесса магнетронного распыления, позволяющего рассчитать значения импульсных характеристик плазмы для обеспечения заданных физико-механических свойств получаемого покрытия металлорежущего инструмента, таких как инденторная твердость, модуль упругости, степень адгезии покрытия к подложке и других.

Практическая полезность работы состоит в выявлении технологических режимов, позволяющих обеспечить заданные физико-механические характеристики покрытия. Проведенные испытания синтезированной на металлорежущий инструмент тонкой пленки AlTiN обеспечили увеличение стойкости образцов на 11% при сверлении, на 13% при фрезеровании и на 20% при точении по сравнению с аналогами.

Апробация работы:

Основные результаты работы докладывались на семи Российских и международных конференциях: V и VII Всероссийской зимней школе-семинаре аспирантов и молодых ученых (с международным участием). – Уфа, 2010г. и 2012г.; Всероссийской конференции с элементами научной школы для молодежи «Нанотехнологии в производстве авиационных газотурбинных двигателей летательных аппаратов и энергетических установок» (ГТД-нанотехнологии 2010), Рыбинск, 2010г.; V Всероссийской молодежной научной конференции:

Мавлютовские чтения – Уфа, 2011г.; XI всероссийской выставке НТТМ-2011, Москва, 2011г.; Национальной научно-технической конференции, 2011г.; Международном молодежном форуме «Будущее авиации за молодой Россией», Москва, 2011г.; IV Всероссийской конференции молодых ученых и специалистов, Москва, 2011г.; Молодёжном конкурсе инновационных проектов на тему:

«Новые материалы и технологии в ракетно-космической и авиационной технике», Москва, 2011г.

Диссертант является победителем программы «У.М.Н.И.К.-2012» и конкурса внутривузовских грантов (в 2011г.) В составе творческого коллектива им выполнялись отдельные этапы работ по контрактам с ГК «Роснанотех», а так же с Министерством образования и науки РФ (договора № 02.532.12.9002 от 21.09.2007 и №849-10 от 11.01.2010).

Реализация результатов работы Основные положения диссертации внедрены на ОАО «Рыбинский завод приборостроения»: предоставленные рекомендации позволили значительно повысить эффективность использования режущего инструмента с нанокомпозитным покрытием и сократить время технологической подготовки инструмента.

Внедрение на ОАО «НПО «Сатурн» разработанного технологического процесса нанесения нанокомпозитного покрытия AlTiN на металлорежущий инструмент с заданными физико-механическими характеристиками обеспечили увеличение стойкости образцов на 11% при сверлении, на 13% при фрезеровании и на 20% при точении титанового сплава ВТ3-1 по сравнению с обработкой его инструментом с покрытием нанесенным фирмой производителем.

Автор принимал непосредственное участие в разработке каталога инструмента с наноструктурированными покрытиями, выпускаемого ЗАО «Новые инструментальные решения».

Публикации: результаты работы опубликованы в 9 научных работах, из которых в рецензируемых изданиях списка ВАК.

Структура и краткое содержание работы Научная работа состоит из 182 стр. машинописного текста, 56 рисунков, 12 таблиц, 65 формул и состоит из введения, 4-х глав, заключения, списка литературы из 127 наименований и 4-х приложений.

Основное содержание работы

Во введении обосновывается актуальность выбранной темы диссертационной работы, кратко сформулированы цели и задачи исследований, научная новизна и практическая значимость работы.

В главе 1 проводится анализ области использования и получения нанокомпозитных покрытий металлорежущего инструмента. Вопросами совершенствования технологий их получения и повышения физико-механических свойств занимались многие отечественные и зарубежные ученые: Кузьмичев А.И., Григорьев С.Н., Третьяков И.П., Бекташов Д.А., Агабеков Ю.В., Башков В.М., Кирюханцев-Корнеев Ф.В., Верещака А.С., Чихранов А.В., Sproul W.D., Musil J., Veprek S., Matthews A., Moore J.J., Munz W.D., Savvides N., Thorton J., Wang, J.S. и др.

В результате анализа литературных источников выявлено, что наиболее перспективным методом нанесения тонких пленок является метод дуального несбалансированного магнетронного ионно-плазменного распыления с полем закрытого типа, поскольку он позволяет синтезировать покрытия практически любой композиции с высокой производительностью при обеспечении прочной адгезии по отношению к субстрату, а так же позволяет значительно повысить степень ионизации плазмы в зоне синтеза покрытия на изделие. Схема выбора технологии нанесения нанокомпозитных покрытий на металлорежущий инструмент представлена на рис.1.

Автором установлено, что наиболее совершенной в настоящее время является магнетронно-распылительная система, использующая несбалансирован ные дуальные магнетроны с полем закрытого типа, работающие в импульсном режиме.

Технологии нанесения покрытий Метод химического Магнетрон- Осаждение Вакуумно- Метод ионосаждения из паро- ное распы- термическим дуговое ис- ной импланвой фазы ление испарением парение тации Магнетронно-распылительные системы Типы магнитных систем Несбалансированный Несбалансированный Сбалансированный магнетрон Тип магнетрон Тип магнетрон hmin hmax подложка подложка подложка Схема работы Режимы питания магнитных систем магнитных систем Питание при постоянБиполярная Однополярная Импульсное питание ном токе Метод дуального (биполярного) несбалансированного магнетронного распыления с закрытым полем Рис. 1. Схема выбора технологии нанесения нанокомпозитных покрытий на металлорежущий инструмент При данной системе катоды работают попеременно, увеличивая плотность ионного тока вблизи мишени. Она позволяет получать высокую степень ионизации плазмы, что положительно сказывается на свойствах, наносимых на режущий инструмент, нанокомпозитных тонких пленок, повышается производительность промышленных установок за счет увеличения размеров «эффективной» зоны нанесения покрытий, появляется возможность синтезировать тонкие пленки на изделия больших размеров и сложных конфигураций.

Проанализированы физико-механические свойства покрытий. Результаты анализа показывают, что механические, тепловые и трибологические свойства твердых тонких пленок могут значительно оптимизироваться посредством хорошо спроектированной микроструктуры, управляемой энергией ионной бомбардировки, за счет варьирования импульсных параметров плазмы.

Анализ структуры и свойств покрытия, полученного методом магнетронного распыления Физические Механические свойства Морфология Структура свойства поверхности Инденторная твердость Величина зерен Термическая H Шероховатость стойкость Tт Ориентация Модуль упругости E поверхности Ra зерен Окислительная Вязкость H/E стойкость Tок Стехиометрия Остаточные напряжения Автоэмиссионный растровый элекСтойкость к пластичеМеталлообраба3 тронный микроскоп, просвечивающий ской деформации H /E тывающие станки сканирующий электронный микрои испытательные скоп, рентгеновский спектрометр Коэффициент трения стенды Адгезия покрытия к подложке, HF Износостойкость T Наноиндентометр, скретч-тестер и трибометр Рис. 2. Схема анализа структуры и свойств покрытий полученных методом магнетронного распыления В главе 2 описана и проанализирована структурная зональная модель распыляемых материалов, основанная на модели Barna и Adamik. Данная модель позволила рассчитать структуру получаемого покрытия при заданных режимах и спрогнозировать трансформацию столбчатой структуры тонкой пленки в нано-шкальную зерновую структуру, которая характерна для сверхтвердых нанокомпозитных покрытий.

На основании схемы, представленной на рис. 2, а так же предполагаемой структуры получаемого покрытия, подобраны методики проведения исследований покрытий на основе соединений nc-MeN/nc-MeN, нанесенных на образцы методом дуального несбалансированного магнетронного распыления.

Дано описание методик определения износостойкости покрытия с использованием микротрибометра, адгезионной прочности, исследования фазового состава покрытия с помощью рентгеноструктурного анализа, топологии и структуры покрытия с помощью растровой электронной микроскопии, сканирующей трансмиссионной микроскопии и атомно-силовой микроскопии. Предложен алгоритм проведения исследования механических характеристик нанококмпозитных покрытий, основанный на методике Оливера-Фара.

В соответствие со схемой анализа структуры и свойств покрытий, полученных методом магнетронного распыления, описаны диагностические приборы, применявшиеся в исследованиях синтезированных нанокомпозитных покрытий. Сделано описание оборудования использованного для подготовки образцов к синтезу покрытий, а так же непосредственно самой установки магнетронного распыления Unicoat-400.

В главе 3 проведен анализ технологического процесса нанесения покрытия AlTiN, который осуществлялся по схеме, представленной в виде таблицы, где PБ – базовое давление, Па; PP – рабочее давление, Па; Ud – разрядное напряжение на магнетронах, В; Id – разрядный ток на магнетронах, А; Bias – напряжение смещения, В/ток смещения, А.

Таблица Технологический процесс нанесения нанокомпозитного покрытия AlTiN № Время Операция Значения задаваемых параметров п/п мин Подготовка поверхности к нанесению 1 Загрузка изделий в камеру покрытия Откачка вакуумной камеры до базо2 30-60 PБ=0,001Па вого давления PP=0,12Па; Ud =650/650В; Id =1/0,5A;

3 Ионная очистка Bias: 800 В/40 A.

PP=0,12 Па; Ud =650/650 В; Id =6/0,5 A;

4 Нанесение металлического подслоя 30-Bias: 40 В/40 A.

PP=0,1-0,15Па; QN2=5-15%; Ud =600-85 Нанесение реактивного слоя 50-В; Id =1-6A; Bias: 40-50В/40-50A.

6 Остывание 15 PP=0,12 Па.

7 Выгрузка изделий 10 - На основе модели, выдвинутой Дэвисом и Вандерслайсом, автором исследования разработана математическая модель измерения распределения ионов по энергиям, учитывающая длину свободного пробега электрона в скрещенных электрических и магнитных полях относительно процесса ионизации и частоту электрон-атомных столкновений:

3 U 1 d ji I0 1, (1) 0 dU U k где ji – поток ионов, A/м2; I0 – ток разряда; – коэффициент Таунсенда; – подвижность электронов в направлении перпендикулярном магнитному полю, м2/В·сек; – диэлектрическая постоянная; – циклотронная частота, Гц; – средняя длина пробега электрона, м; – частота электрон – атомных столкновений, Гц; U – напряжение электрического поля, В; Uk – катодное падение потенциала, В.

С целью учета возможной ионизации в процессе магнетронного распыления принимаются следующие допущения и ограничения:

длина свободного пробега электронов считается постоянной;

краевые эффекты не рассматриваются;

учитывая, что степень ионизации низкотемпературной плазмы газового разряда мала (порядка 10-5), пренебрегают столкновениями электронов с любыми частицами, кроме атомов рабочего газа.

ось х перпендикулярна катоду и направлена к аноду, а ось y параллельна катоду а направлена вдоль линии магнитного поля;

в пределах катодного слоя поле однородно;

допустимое значение ионной энергии j(U)Uk.

Для определения энергетического спектра ионов, бомбардирующих катод несбалансированного магнетрона, определена величина катодного падения потенциала по формуле:

3 2 l0 T 2 U 1,2 1029 1, (2) K P B где Т – температура газа; Р – давление газа в камере; В – магнитная индукция i – сечение ионизации в магнетронном разряде, i=2·10-19 м-2.

Решив дифференциальное уравнение (1) для плотности потока ионов при начальном условии j(Uk )=0 получим выражение, описывающее энергетическое распределение ионов бомбардирующих катод:

(U U ) I0 U U U U k 0 k k j(U) 2U k. (3) По результатам математического моделирования доказано, что наибольший вклад в процесс распыления вносят не высокоэнергетические ионы, так как их плотность в потоке мала, а ионы со средними значениями энергий; при увеличении напряжения разряда увеличивается величина катодного падения потенциала, вследствие чего ионы разгоняются с большей скоростью, а, следовательно, увеличивается их кинетическая энергия, которая передается атомам мишени, что положительно сказывается на скорости распыления.

В главе 4 исследовано влияние параметров импульса на свойства и структуру покрытия AlTiN. При выполнении исследования варьировались значения времени паузы (времени возврата) и значения частоты импульсов. Исходя из проведенного математического моделирования, были выбраны следующие значения технологических параметров: частота импульсов 100 кГц и 350 кГц (как минимально допустимая и максимально возможная) время паузы от 1,0 мкс до 5,0 мкс.

Проведен анализ морфологии поверхности покрытия. Двух- и трехмерные поверхностные морфологии пленок AlTiN, нанесенных в различных условиях асинхронного пульсирования, измерялись при помощи атомносиловой микроскопии (АСМ) и растровой электронной микроскопии (РЭМ), результаты которых представлены на рис. 3 и рис. 4 соответственно.

Ra=5,45нм Ra=2,01нм 5мкм 5мкм а г 2,5 2,5мкм 5мкм 0 2,5 5мкм 0 2,5 5мкм Ra=2,43нм 5мкм Ra=2,25нм 5мкм д б 2,5 2,5мкм 5мкм 5мкм 0 2,5 0 2,0 5мкм Ra=1,04нм 5мкм в 2,5мкм 0 2,5 5мкм Рис. 3. Двух- и трехмерные АСМ поверхностные морфологии пленок AlTiN, нанесенных при различных параметрах асинхронного пульсирования с разными максимальными значениями ионной энергии: а) 100 кГц и 1.0 мкс (эВ); б) 100 кГц и 2.5 мкс (84 эВ); в) 100 кГц и 5.0 мкс (122 эВ); г) 350 кГц и 1.мкс (180 эВ); д) 350кГц и 1.4 мкс (200эВ) Изменение ионной энергии и ионного потока в плазме посредством пульсирования показывает, что увеличение ионной энергии и ионного потока ведет к изменению текстуры пленки AlTiN от (200) до (111). В настоящем исследовании пленки, нанесенные при относительно низкой ионной энергетической бомбардировке (например, режим 100/1,0 с общей ионной энергией 72эВ), поддер живают ориентацию (200) для минимизации поверхностной энергии. C увеличением ионной энергии и ионного потока в плазме, увеличенная энергия деформации в пленке и повторное распыление из-за высокой ионной бомбардировки вызывают рост покрытия в ориентации (111) для снижения энергии деформации (например, 350кГц/1,4мкс с общей ионной энергией 200 эВ).

а б в г д е Рис. 4. Поперечные микроснимки РЭМ пленок AlTiN, нанесенных в различных условиях асинхронного пульсирования: а) 100 кГц и 1.0 мкс (72 эВ); б) 100 кГц и 2.5 мкс (84 эВ); в) 100 кГц и 5.0 мкс (122 эВ); г) 350 кГц и 0.4 мкс (177 эВ); д) 350 кГц и 1.0 мкс (180 эВ); е) 350 кГц и 1.4 мкс (200 эВ) Импульсная ионная энергия и ионный поток оказывают значительное воздействие на микроструктурное развитие пленки AlTiN. Использование контролируемой ионной бомбардировки для сохранения максимальной ионной энергии на уровне менее 120 эВ и увеличения ионного потока в средней области ионной энергии «B», будет увеличивать адатомную мобильность, усиливать плотность покрытия и уменьшать размер столбчатых кристаллов пленки.

Механические и трибологический свойства пленок AlTiN, полученных при различных режимах нанесения представлены в таблице 2.

Твердость пленки AlTiN увеличилась от 34 до 41 ГПа при увеличении общей ионной энергии от 72эВ (100кГц/1.0мкс) до 122эВ (100кГц/5.0мкс) в асинхронном импульсном режиме. Это происходит благодаря возрастанию плотности покрытия и сокращению размера зерен в условиях увеличенной ионной энергии и бомбардировки ионным потоком. Деформационное упрочнение становилось значительным и чрезмерным, при общей ионной энергии 177-2эВ и частоте импульсов 350кГц.

Таблица Механические и трибологические свойства пленок AlTiN Импульсные параметры Свойства пленки 100/1,0 100/2,5 100/5,0 350/0,4 350/1,0 350/1,Al/(Ti+Al) 58,5 57,3 60,4 60,9 67,5 69,Толщина пленки, мм 1,2 0,8 1 14,1 0,9 1,Поверхностная шерохова5,45 2,43 1,04 2,16 2,01 2,тость, нм Остаточное напряжение, ГПа -3,4 -4 -5,6 -7,3 -12,2 -12,Наноидентационная твер- 34,3 37 41,1 42,4 43,6 48,дость, ГПа ±3,8 ±3,9 ±3,3 ±2,9 ±2,8 ±3,370,8± 385,6± 411,4± 432,4± 450,5± 515,5± Модуль Юнга, ГПа 26,3 31,9 32,5 30,4 28,4 43,H/E 0,092 0,096 0,01 0,098 0,097 0,0Коэффициент трения 0,38 0,43 0,46 0,46 0,87 0,Скорость износа 2,9 3,2 3,4 3,9 3,8 В результате, оптимальное сочетание механических (твердость) и трибологических свойств может достигаться, только при сохранении средней ионной энергии между 70-120 эВ с высокими ионными потоками. Работа мишеней Ti и Al при частоте 100кГц и времени паузы 5,0мкс привело к образованию пленок AlTiN, которые показали высокую твердость (~ 41 ГПа, вязкость 0,10) и хорошую износостойкость (коэффициент трения 0,40-0,46; скорость износа 3,4x10-мм3Н-1 м-1).

В результате проведенных исследований автором сформулированы рекомендации по повышению эффективности процесса магнетронного распыления:

1. Разрядное напряжение на мишени необходимо выбирать в соответствие с процентом ассиметричного импульса, для поддержания реверсивного позитивного импульсного напряжения в диапазоне 20-80 В.

2. Предпочтительно использовать более длительное время возврата при относительно низких импульсных частотах (например, 100-200 кГц) для импульсного реактивного распыления, с целью получения подходящих значений импульсной ионной энергии и увеличения ионного потока.

Поскольку импульсная плазма уже обеспечила относительно высокие значения ионной энергии в плазме, предлагается использовать относительно небольшое смещение подложки (не более -50 В), чтобы избежать чрезмерной ионной бомбардировки.

По полученным данным о степени влияния частотных характеристик импульса на свойства покрытии AlTiN была составлена модель технологического процесса магнетронного распыления, обеспечивающего заданные физико-механические свойства нанокомпозитных покрытий металлорежущего инструмента, представленная на рис.5. Проведено испытание режущего инструмента с нанесенным нанокомпозитным покрытием AlTiN, полученного с помощью раз работанной технологии магнетронного распыления, и сравнение его с аналогами (рис.6).

Инструмент с Технология Заказчик покрытия покрытием • Основное оборудование • Заданная геометрия • Соответствие геометрии • Установка магнетронного инструмента инструмента требованиям распыления UniCoat-4• Чертеж детали чертежа • Вспомогательное оборудование • Параметры инструмента • Параметры инструмента • Ультра-звуковая ванна ПСБ- • Физико-механические • Физико-механические 9535-характеристики характеристики • Пароструйный аппарат VAP-• Модуль упругости Е • Модуль упругости Е • Оснастка • Твердость HB • Твердость HB • Держатели инструмента в • Коэффициент трения, • Коэффициент трения, виде стаканчиков разных • Жаростойкость, Т • Жаростойкость, Т диаметров с возможностью • Окислительная • Окислительная вращения вокруг своей оси, стойкость, Т стойкость, Т ок ок закрепленные на • Качество поверхностного • Качество вращающемся столе слоя поверхностного слоя • Режимы нанесения и маршрут • Шероховатость • Шероховатость физико-технического процесса поверхности, Rz поверхности, Rz • Обеспечение требуемой • Обеспечение требуемой адгезии № Время Режимы нанесения ______________адгезии п/п Операция мин Загрузка изделий Подготовка поверхности для 1 в камеру нанесения покрытия Откачка вакуум2 ной камеры до 30-60 PБ=0,001Па Повышение базового давления Рекомендации качества PP=0,1-0,2Па; Ud =650/650В; по применению 3 Ионная очистка обрабатываемой Id =1/0,5A; Bias: 800 В/40 A.

инструмента для поверхности Нанесение обеспечения PP=0,1-0,2Па; Ud =650/650 В;

Повышение 4 металлического 30-Id =0,5-6A; Bias: 40 В/40 A. технически и подслоя титана стойкости экономически PP=0,1-0,2Па; QN2=25%;

инструмента эффективных Нанесение Ud =200/600В; Id =1-6A; Bias:

5 30-реактивного слоя 50В/40A. f=100-350кГц, процессов = 0,1-5 мкс обработки 6 Остывание 15 PP=0,12 Па.

7 Выгрузка изделий 10 - Рис.5. Модель технологического процесса магнетронного распыления, обеспечивающего заданные физико-механические характеристики нанокомпозитного покрытия AlTiN металлорежущего инструмента.

Рис. 6. Испытания покрытия AlTiN в сравнении с аналогами Основные результаты и выводы 1. В результате проведенного анализа современных износостойких покрытий установлено, что использование наноструктурированных покрытий, имеющих оптимальные параметры, прочную адгезию по отношению к субстрату, а также предельно уменьшенное количество различных дефектов, для модификации поверхности металлорежущего инструмента позволяет получать наиболее эффективное повышение его эксплуатационных характеристик.

2. Установлено, что наиболее рациональным методом синтеза покрытий является метод магнетронного распыления с использованием дуальных несбалансированных магнетронно-распылительных систем закрытого типа, поскольку он позволяет получать высокую степень ионизации плазмы, что положительно сказывается на свойствах тонких пленок и увеличивает производительность промышленных установок.

3. Разработанные математические модели определения потока ионов в плазме и их распределения в процессе синтеза нанокомпозитного покрытия позволяют рассчитать значение ионной энергии распыляемых атомов, с целью корректировки импульсных характеристик для обеспечения заданных физикомеханических свойств получаемого покрытия металлорежущего инструмента.

4. Выявлен механизм влияния импульсных параметров технологического процесса (частоты импульсов и времени паузы) дуального несбалансированного магнетронного распыления с полем закрытого типа на свойства и структуру покрытия AlTiN, на основании которого составлена модель технологического процесса магнетронного распыления, обеспечивающего заданные физико-механические характеристики нанокомпозитного покрытия AlTiN металлорежущего инструмента.

5. Разработан технологический процесс осаждения покрытия AlTiN на металлорежущий инструмент и подобраны оптимальные варианты режимов нанесения, с целью обеспечения заданных физико-механических характеристик, при этом увеличение стойкости инструмента по сравнению с аналогами составляет в среднем 15% при различных видах обработки, что подтверждено результатами испытаний и актами внедрения на производство.

Основные публикации Статьи в журналах, входящих в перечень ВАК 1. Сергеев, А.Е. Механические и трибологические свойства пленок Al-Ti-N [Текст] / Сергеев, А.Е., Ерошков, В.Ю. – Вестник РГАТА им. П.А.

Соловьева №1 (19), 2011. – С. 87-2. Кожина, Т.Д., Непомилуев, В.В., Сергеев, А.Е. Асинхронные дуальные импульсные магнетронно-распылительные системы для синтеза наноструктурированных покрытий [Текст]/Сергеев, А.Е. – Вестник РГАТУ им.

П.А. Соловьева №2 (20), 2011. – С. 115-13. Сергеев, А.Е. Использование дуальных импульсных магнетроннораспылительных систем для нанесения нанокомпозитных покрытий. [Текст] / Сергеев, А.Е. – Сборник научных трудов "Итоги диссертационных исследований". М.: РАН, 2011. – С.44-47.

Материалы конференций 1. Сергеев, А.Е., Дружков, С.С. «Перспективные методы нанесения наноструктурированных покрытий на металлорежущий инструмент» [Текст] / Сергеев, А.Е., Дружков, С.С. – Сборник материалов 5-й Всероссийской зимней школы-семинара аспирантов и молодых ученых (с международным участием).

– Уфа: Изд-во УГАТУ, 2010.

2. Дружков, С.С., Сергеев, А.Е. Применение наноструктурированных покрытий при производстве металлорежущего инструмента, как современный этап его развития [Текст] / Дружков, С.С., Сергеев, А.Е., – Сборник материалов 5-й Всероссийской зимней школы-семинара аспирантов и молодых ученых (с международным участием). – Уфа: Изд-во УГАТУ, 2010.

3. Сергеев, А.Е. «Формирование поверхности наноструктурированного покрытия при магнетронном ионно-плазменном распылении» [Текст] / Сергеев, А.Е. – Нанотехнологии в производстве авиационных газотурбинных двигателей летательных аппаратов и энергетических установок (ГТДнанотехнологии 2010): Материалы Всероссийской конференции с элементами научной школы для молодежи. – Рыбинск: РГАТА имени П.А. Соловьева, 2010. – 140 с.

4. Кожина, Т.Д., Ерошков, В.Ю., Сергеев, А.Е. «Свойства нанокомпозитных покрытий, полученных методом магнетронного распыления» [Текст] / Кожина, Т.Д., Ерошков, В.Ю., Сергеев, А.Е. – Материалы VII международной научно-практической конференции (Прага, 2011г.) – С. 11-5. Сергеев, А.Е. «Разработка сверхтвердых нанокомпозитных покрытий nc-MeN, полученных методом магнетронного распыления для осевого режущего инструмента» [Текст] / Сергеев, А.Е. – Будущее машиностроения России: сб.тр. Всерос. Конф. Молодых ученых и специалистов – М.: МГТУ им. Н.Э.Баумана, 2011. – С. 167-168.

6. Сергеев А.Е. Изучение свойств супертвердых нанокомпозитных покрытий на основе соединений nc-MeN для осевого инструмента, полученных методом магнетронного распыления [Текст] / Сергеев, А.Е. – Материалы Всероссийской молодежной научной конференции: Мавлютовские чтения – Уфа, 2011. – С. 124-126.

Подписано в печать 28.04.2012.

Формат 6084 1/16. Уч.-изд. л. 1. Тираж 100. Заказ 103.

Рыбинский государственный авиационный технический университет имени П. А. Соловьева (РГАТУ имени П. А. Соловьева) Адрес редакции: 152934, г. Рыбинск, ул. Пушкина, Отпечатано в множительной лаборатории РГАТУ имени П. А. Соловьева 152934, г. Рыбинск, ул. Пушкина,






© 2011 www.dissers.ru - «Бесплатная электронная библиотека»

Материалы этого сайта размещены для ознакомления, все права принадлежат их авторам.
Если Вы не согласны с тем, что Ваш материал размещён на этом сайте, пожалуйста, напишите нам, мы в течении 1-2 рабочих дней удалим его.