WWW.DISSERS.RU

БЕСПЛАТНАЯ ЭЛЕКТРОННАЯ БИБЛИОТЕКА

загрузка...
   Добро пожаловать!

Pages:     | 1 | 2 ||

Каськов, Е.Б. Клюенков, А.Е. Пестов, Н.Н. Салащенко, Д.П. Чехонадских, Н.И. Чхало, Л.А. Шмаенок // Известия РАН. Серия физическая. – 2004. – Т.68. – № 4. – С.560–564.

[A4] Бибишкин, М.С. Исследование характеристик многослойных рентгеновских зеркал с ультракороткими периодами d=0.7-2.4 нм / М.С.

Бибишкин, Ю.А. Вайнер, А.Е. Пестов, К.А. Прохоров, Н.Н. Салащенко, А.А. Фраерман, Н.И. Чхало // Известия РАН. Серия физическая. – 2005. – Т.69. – № 2. – С.199–206.

[A5] Andreev, S.S. Application of free-standing multilayer films as polarizers for X-ray radiation / S.S. Andreev, M.S. Bibishkin, N.I. Chkhalo, A.Ya. Lopatin, V.I. Luchin, A.E. Pestov, K.A. Prokhorov, N.N. Salashchenko // Nuclear Instruments and Methods in Physics Research A. – 2005. – V.543. – P.340–345.

[A6] Bibishkin, M.S. Ultra-short period X-ray mirrors: Production and investigation / M.S. Bibishkin, N.I. Chkhalo, A.A. Fraerman, A.E. Pestov, K.A. Prokhorov, N.N. Salashchenko, Yu.A. Vainer // Nuclear Instruments and Methods in Physics Research A. – 2005. – V.543. – P.333–339.

[A7] Бибишкин, М.С. Рефлектометр с модернизированной оптической схемой для исследования элементов рентгенооптики в диапазоне 0,6-нм // М.С. Бибишкин, И.Г. Забродин, С.Ю. Зуев, Е.Б. Клюенков, А.Е.

Пестов, Н.Н. Салащенко, Д.П. Чехонадских, Н.И. Чхало // Поверхность.

Рентгеновские, синхротронные и нейтронные исследования. – 2005. – №2.

– С.23–27.

[A8] Vainer, Yu.A. Analysis of transverse correlation of surface roughness in multilayer structures with ultrashort periods / Yu.A. Vainer, A.E. Pestov, K.A. Prokhorov, N.N. Salashchenko, A.A. Fraerman, V.V. Chernov, N.I.

Chkhalo // Journal of Experimental and Theoretical Physics. – 2006. – Vol.130. – No.3. – P.345–351.

[A9] Бибишкин, М.С. Характеристики детекторов на основе МКП и каналовых умножителей при работе в счетном режиме / М.С. Бибишкин, И.Г. Забродин, А.Е. Пестов, Н.Н. Салащенко, Д.П. Чехонадских, Н.И.

Чхало // Материалы всероссийского совещания Рентгеновская оптика2002. ИФМ РАН. Нижний Новгород. – 2002. – С.247–251.

[A10] Бибишкин, М.С. Оптимизация детекторов на основе МКП и каналовых умножителей для регистрации мягкого рентгеновского излучения / М.С. Бибишкин, И.Г. Забродин, А.Е. Пестов, Н.Н. Салащенко, Д.П. Чехонадских, Н.И. Чхало // Материалы XIV Российской конференции по использованию синхротронного излучения СИ-2002.

ИЯФ им. Г.И. Будкера СО РАН. Новосибирск. – 2002. – С. 125.

[A11] Андреев, С.С. Исследование отражательных характеристик многослойных зеркал в диапазоне длин волн 0.6-10 нм / С.С. Андреев, М.С. Бибишкин, Б.А Володин, С.Ю. Зуев, Е.Б. Клюенков, А.Е. Пестов, К.А. Прохоров, Н.Н. Салащенко, Д.П. Чехонадских, Н.И. Чхало // Тезисы докладов IV Национальной конференции по применению Рентгеновского, Синхротронного излучений, Нейтронов и Электронов для исследования материалов. ИК РАН. Москва. – 2003. – С.494.

[A12] Бибишкин, М.С. Светосильный рефлектометр для изучения влияния источников ЭУФ излучения на отражательные характеристики зеркал / М.С. Бибишкин, И.Г. Забродин, И.А. Каськов, Е.Б. Клюенков, А.Е. Пестов, Н.Н. Салащенко, Д.П. Чехонадских, Н.И. Чхало // Тезисы докладов IV Национальной конференции по применению Рентгеновского, Синхротронного излучений, Нейтронов и Электронов для исследования материалов. ИК РАН. Москва. – 2003. – С.522.

[A13] Bibishkin, M.S. Apparatus and methods for investigations of multilayer mirrors in the 0.6-20 nm spectral range / M.S. Bibishkin, D.P.

Chekhonadskih, N.I. Chkhalo, I.A. Kaskov, E.B. Klyuenkov, A.E. Pestov, N.N. Salashchenko, I.G. Zabrodin, S.Yu. Zuev // Proceedings of the 7th International Conference on the Physics of X-Ray Multilayer Structures. March 7-11 2004. Rusutsu Resort. Sapporo. Japan. – 2004. – P.O7-02.

[A14] Бибишкин, М.С. Исследование характеристик многослойных зеркал с ультрамалыми периодами d = 0.8 – 2.4 нм / М.С. Бибишкин, Ю.А.

Вайнер, Б.А. Володин, А.Е. Пестов, К.А. Прохоров, Н.Н. Салащенко, А.А.

Фраерман, Н.И. Чхало // Материалы всероссийского совещания Рентгеновская оптика-2004. ИФМ РАН. Нижний Новгород. – 2004. – С.136–137.

[A15] Вайнер, Ю.А. Применение метода диффузного рассеяния для изучения внутреннего строение короткопериодных W/B4C многослойных структур / Ю.А. Вайнер, А.Е. Пестов, К.А. Прохоров, Н.Н. Салащенко, А.А. Фраерман, Н.И. Чхало // Материалы всероссийского совещания Рентгеновская оптика-2004. ИФМ РАН. Нижний Новгород. – 2004. – С.205–207.

[A16] Ахсахалян, А.Д. Короткопериодная рентгеновская оптика для коллимации, фокусировки и поляризации рентгеновского излучения / А.Д. Ахсахалян, Ю.А. Вайнер, Е.Б. Клюенков, В.И. Лучин, А.Е. Пестов, К.А. Прохоров, Н.Н. Салащенко, Н.И. Чхало // Материалы всероссийского совещания Рентгеновская оптика-2005. ИФМ РАН.

Нижний Новгород. – 2005. – Т.1. – С.60–63.

[A17] Забродин, И.Г. Абсолютно калиброванный измеритель EUV мощности для аттестации и оптимизации источников излучения на 13,нм / И.Г. Забродин, Б.А. Закалов, С.Ю. Зуев, И.А. Каськов, Е.Б.

Клюенков, А.Я. Лопатин, Н.Н. Салащенко, Л.А. Суслов, А.Е. Пестов, Н.И. Чхало, Л.А. Шмаенок // Материалы всероссийского совещания Рентгеновская оптика-2005. ИФМ РАН. Нижний Новгород. – 2005. – Т.2.

– С.302–303.

[A18] Бибишкин, М.С. Проект литографического стенда на основе объектива Шварцшильда с рабочей длиной волны 13,5 нм / М.С.

Бибишкин, Н.Б. Вознесенский, Е.Б. Клюенков, Е.Л. Панкратов, А.Е.

Пестов, Н.Н. Салащенко, Н.И. Чхало // Материалы всероссийского совещания Рентгеновская оптика-2005. ИФМ РАН. Нижний Новгород. – 2005. – Т.2. – С.479–480.

[A19] Бибишкин, М.С. Многослойные поляризаторы для мягкого рентгеновского диапазона длин волн / М.С. Бибишкин, Ю.А. Вайнер, А.Я.

Лопатин, В.И. Лучин, А.Е. Пестов, В.Н. Полковников, Н.Н. Салащенко, В.В. Чернов, Н.И. Чхало // Материалы всероссийского совещания Рентгеновская оптика-2005. ИФМ РАН. Нижний Новгород. – 2005. – Т.2.

– С.493–494.

[A20] Бибишкин, М.С. Многослойные абсорбционные фильтры для спектральной области 13,5 нм / М.С. Бибишкин, С.А. Гусев, Е.Б.

Клюенков, А.Я. Лопатин, В.И. Лучин, Ю.А. Вайнер, Е.Б. Клюенков, В.И.

Лучин, А.Е. Пестов, Н.Н. Салащенко, Н.Н. Цыбин, Н.И. Чхало, Л.А.

Шмаенок // Материалы всероссийского симпозиума «Нанофизика и наноэлектроника», г. Нижний Новгород. – 2006. – С.114–115.

[A21] Бибишкин, М.С. Характеристики абсорбционных EUV-фильтров при высоких тепловых нагрузках / М.С. Бибишкин, С.А. Гусев, И.Г.

Забродин, А.Ю. Климов, Е.Б. Клюенков, А.Я. Лопатин, В.И. Лучин, А.Е.

Пестов, Н.Н. Салащенко, Н.Н. Цыбин, Н.И. Чхало, Л.А. Шмаенок // Материалы всероссийского симпозиума «Нанофизика и наноэлектроника», г. Нижний Новгород. – 2006. – С.358–359.

[A22] Забродин, И.Г. Новая мощная трубка на длину волны 13,5 нм / И.Г. Забродин, И.А. Каськов, Е.Б. Клюенков, А.Е. Пестов, Д.Г. Раскин, Н.Н. Салащенко, Н.И. Чхало, В.А. Кузнецов, В.М. Артюхов // Материалы всероссийского симпозиума «Нанофизика и наноэлектроника», г. Нижний Новгород. – 2006. – С.387.

[A23] Зуев, С.Ю. Влияние антидиффузионных слоев B4C и Cr на отражательные характеристики многослойных рентгеновских зеркал на основе Mo/Si / С.Ю. Зуев, А.Е. Пестов, В.Н. Полковников, Н.Н.

Салащенко // Материалы всероссийского симпозиума «Нанофизика и наноэлектроника», г. Нижний Новгород. – 2006. – С.391.

Пестов Алексей Евгеньевич РАЗВИТИЕ ДИАГНОСТИЧЕСКИХ МЕТОДОВ ДЛЯ ЗАДАЧ ПРОЕКЦИОННОЙ ЛИТОГРАФИИ 13,5 НМ Автореферат Подписано к печати 10 октября 2006 г.

Тираж 100 экз.

Отпечатано на ризографе Института физики микроструктур РАН, 603950, Нижний Новгород, ГСП – 105.

Pages:     | 1 | 2 ||






© 2011 www.dissers.ru - «Бесплатная электронная библиотека»