WWW.DISSERS.RU

БЕСПЛАТНАЯ ЭЛЕКТРОННАЯ БИБЛИОТЕКА

загрузка...
   Добро пожаловать!

Pages:     | 1 |   ...   | 2 | 3 ||
В этих условиях при давлениях рабочей смеси в десятки паскалей. При этом движение распы- целесообразно выбирать наиболее простую, удобную в эксплуатации конфиленных атомов от мишени к подложке становится диффузионным, а главное гурацию системы напыления. Схема такой системы напыления представлена преимущество магнетронного метода перед простыми диодными системами на Рис.3. Была определена область параметров технологического процесса напыления – возможность более эффективного распыления материала мишени (расстояние мишень-подложка, рабочее давление и температура осаждения), – становится не столь принципиальным как при низких (ниже 1 Па) давлени- позволяющего получать качественные пленки в данной системе напыления. В ях. Кроме того, при рабочих давлениях до 100 Па термализация эмитирован- главе приведены примеры характеристик полученных пленок, соответствуюных мишенью энергичных атомов приводит к нагреву и движению газовой щих лучшим мировым образцам и пригодных (согласно полученным значени ям поверхностного сопротивления RS) для высокочастотных применений. Раз мер получаемых в данной системе однородных по толщине пленок приблизи тельно равен диаметру зоны эрозии мишени (что существенно больше, чем в 7 системе 90° off-axis – см. Гл.3). Простота конструкции используемого катодного узла позволяет надеяться на получение качественных YBCO пленок большего размера без вращения подложки путем увеличения соответствующих размеров магнетрона.

0, 0, 0,3 4 5 0,0,S 140 150 160 Напряжение разряда, В N Рис.4. Зависимость полуширины кривой качания (FWHM) рентгеновского отражения YBCO(005) в пленках, получаемых в МРС on-axis от напряжения магнетронного разряда. – эксперимент, – аппроксимирующая прямая.

Рис.3. Схематическое изображение магнетронной напылительной системы onaxis конфигурации: 1- магнит; 2 – магнитопровод (мягкое железо); 3 – анод;

Были изучены долговременные (десятки часов) изменения параметров 4 – мишень; 5 – зона эрозии; 6 – линии индукции магнитного поля; 7 – кварцемагнетронного разряда и свойств получаемых пленок. Установлено, что эти вый реактор; 8 – подложка; 9- спираль нагревателя подложек.

изменения связаны с окислением распыляемой поверхности мишени в атмосфере кислорода, которая приводит к повышению коэффициента вторичной 12 (FWHM w) YBCO(005), град.

Pages:     | 1 |   ...   | 2 | 3 ||






© 2011 www.dissers.ru - «Бесплатная электронная библиотека»