WWW.DISSERS.RU

БЕСПЛАТНАЯ ЭЛЕКТРОННАЯ БИБЛИОТЕКА

загрузка...
   Добро пожаловать!

Pages:     | 1 || 3 | 4 |

ву мишени может быть получена методом элементного оже-анализа. [18] Вендик О.Г Распределение тока в поперечном сечении и погонное сопро2. Установлена эмпирическая связь между отношением концентраций тивление сверхпроводящей микрополосковой линии /О.Г. Вендик, А.Ю. ПоCu/Ba в магнетронных мишенях, используемых в системе напыления конфи- пов //Журнал технической физики. – 1993. - Т.63. - Вып.7. - С.1-9.

[19] Jin B.B. How the Surface Resistance RS of Patterned High-Tc Superconducting гурации 90° off-axis, и электрофизическими и структурными свойствами полуThin Film Is Affected by the Film’s Edge /B.B. Jin, R.X. Wu //Journal of Superconчаемых YBCO пленок, а также формированием в данных пленках характерных ductivity. – 1998. - Vol.11. - No.2. - P.291-296.

преципитатов вторичных фаз. Получены пленки с высокими транспортными характеристиками, не содержащие на поверхности крупных частиц CuO и, следовательно, пригодные для многослойной технологии.

Список публикаций автора по теме диссертации 3. Выявлено, что окисление YBCO мишени в процессе магнетронного [A1] Дроздов, М.Н. Сверхвысокое разрешение при послойном оже-анализе распыления приводит к изменению параметров разряда, скорости осаждения и гетероструктур InxGa1-xAs/GaAs с глубоко залегающими квантовыми ямами характеристик получаемых пленок. Составлено подробное описание этих из/М.Н. Дроздов, В.М. Данильцев, Ю.Н. Дроздов, Д.В. Мастеров, О.И. Хрыкин, менений в системе напыления конфигурации on-axis.

В.И. Шашкин //Письма в ЖТФ. - 1996. - Т.22. - Вып.18. - С.61-66.

4. В планарной МРС on-axis конфигурации с простейшей магнитной сис[A2] Дроздов, М.Н. Послойный элементный анализ структур Mo/B4C метотемой без экранирующих электродов и высоковакуумной откачки получены дом оже-электронной спектроскопии/ М.Н. Дроздов, С.С. Андреев, Д.В. Масдвусторонние YBCO пленки с высокими структурными и электрофизическитеров, Н.Н. Салащенко //Поверхность. Рентгеновские, синхротронные и нейми характеристиками: Tc до 90 K, Jc до 4 МА/см2, RS (10 ГГц, 77 K) < 1 мОм, тронные исследования. - 1997. - №11. - С.57-63.

= 300K/100K 3. Скорость осаждения пленок без ухудшения качества суще[A3] Воробьев, А.К Влияние десорбции на формирование состава тонких ственно (в 2-2,5 раза) повышена за счет оптимизации индукции магнитного пленок высокотемпературных сверхпроводников при магнетронном напылеполя вблизи поверхности мишени. Повышение скорости осаждения в этих нии /А.К. Воробьев, С.В. Гапонов, М.Н. Дроздов, Е.Б. Клюенков, В.И. Лучин, условиях связано с потоковыми процессами в газовой среде.

Д.В. Мастеров //Письма в ЖТФ. - 1998. - Т.24. - Вып.24. - С.13-17.

5. Полученные результаты подтверждены характеристиками изготовлен[A4] Drozdov, M.N. Y-Ba-Cu-O Thin Films Composition Formation during ных высокочастотных фильтров. Дисковые резонаторы на частоты 3,5 Гц и Magnetron Sputtering /M.N. Drozdov, S.V. Gaponov, S.A. Gusev, E.B. Kluenkov, 10 ГГц имеют собственную добротность более 2104 при температуре 77 К.

V.I. Luchin, D.V. Masterov, S.K. Saykov, A.K. Vorobiev //IEEE Transactions on Эти характеристики соответствуют мировому уровню. Лучшие одиночные Applied Superconductivity.- 1999. - Vol.9. – No.2. - P.2371-2374.

резонансные контуры имеют собственную добротность более 2105 на часто[A5] Воробьев, А.К Исследование изменений состава мишени высокотемтах 38 МГц и 66 МГц при температуре 77 К. Перестраиваемые контуры имеют пературного сверхпроводника Y-Ba-Cu-O при ионном распылении /А.К. Водобротность более 1105 во всем диапазоне перестройки частоты (10-30 МГц).

робьев, С.В. Гапонов, М.Н. Дроздов, Е.Б. Клюенков, Д.В. Мастеров //Физика Это существенно (в несколько раз) выше результатов других групп.

Твердого Тела. - 2000. - Т.42. - Вып.4. - С.589-594.

[A6] Востоков, Н.В. Послойный элементный анализ многослойных струкОсновные положения, выносимые на защиту:

тур Mo/Si методом электронной оже-спектроскопии /Н.В. Востоков, 1. Метод элементного оже-анализа позволяет количественно оценить изме 6 (10-30 МГц). Это существенно (в несколько раз) лучше результатов других нения в составе YBCO мишеней, сформировавшиеся в процессе магнегрупп. тронного распыления, и изменения в составе YBCO пленок, вызванные селективной десорбцией компонентов с поверхности роста под воздейст вием ионов плазмы. Полностью разделены эффекты ионного распыления Список цитированной литературы при послойном анализе и магнетронном распылении в условиях миними[1] CCAS: Coalition for the Commercial Application of Superconductors зации аппаратурных погрешностей оже-спектрометра.

/http://www.tcsuh.uh.edu/ccas/. 2. Экспериментально показано, что критическая температура и критический [2] http://www.theva.com/. ток YBCO пленок, получаемых в магнетронной напылительной системе [3] Rosner, C.H. Superconductivity: Star Technology for the 21st Century //IEEE конфигурации 90° off-axis, в большой степени определяются отношением Transactions on Applied Superconductivity. – 2001. - Vol.11. - No.1. - P.39-48.

концентраций Cu/Ba в используемых мишенях. В данной конфигурации [4] Mansour, R.R. Microwave Superconductivity //IEEE Transactions on Microсистемы напыления определены условия роста, при которых YBCO wave Theory and Techniques. – 2002. - Vol.50. - No.3. - P.750-759.

пленки, получаемые из стехиометрических и обогащенных медью мише[5] Мухортов, Вл.М. Высокотемпературные сверхпроводники в современной ней, не содержат Cu-обогащенных преципитатов и имеют сверхпроводяаппаратуре связи (Перспективы применения и состояние исследований). Часть щие характеристики: Tc 88 K, Jc (77 K) не ниже 1106 A/см2.

I /Вл.М. Мухортов, В.А. Следков, В.М. Мухортов //Микросистемная техника.

3. В планарной магнетронной системе напыления on-axis конфигурации с – 2002. - №8. - C.20-24.

простейшей магнитной системой, без экранирующих электродов и высо[6] Мухортов, В.М. Высокотемпературные сверхпроводники в современной ковакуумной откачки получены YBCO пленки с высокими структурными аппаратуре связи (Перспективы применения и состояние исследований) Часть и электрофизическими характеристиками, пригодные для высокочастотII /В.М. Мухортов, В.А.Следков, Вас.М. Мухортов //Микросистемная техниных применений. На основе данных пленок изготовлены дисковые СВЧ ка. – 2002. - №9. - C.11-18.

резонаторы с добротностью более 2104 на частотах 3.5 Гц и 10 ГГц, а [7] Special Issue on Application of Superconductivity //Proceedings of the IEEE. – также ВЧ контуры с собственной добротностью Q0 >105 на частотах 2004. - Vol.92. - No.10.

38 МГц и 66 МГц при температуре 77 К. Критическим параметром, опре[8] Kang, S. High-Performance High-Tc Superconducting Wires /S. Kang, деляющим качество пленок, является давление рабочей смеси.

A. Goyal, J. Li, A.A. Gapud, P.M. Martin, L. Heatherly, J.R. Thompson, 4. Магнетронное напыление YBCO пленок при повышенных (50-100 Па) D.K. Christen, F.A. List, M. Paranthaman, D.F. Lee //Science. – 2006. - Vol.311. - давлениях приводит к возникновению газовых потоков, влияющих на No.5769. – P.1911-1914.

скорость роста. Снижение скорости роста YBCO пленок при заданном [9] Schwartz, J. High Field Superconducting Solenoids Via High Temperature Suтоке источника в системе on-axis происходит вследствие снижения наperconductors /J. Schwartz, T. Effio, X. Liu, Q.V. Le, A.L. Mbaruku, H.J. Schneidпряжения разряда в результате окисления распыляемой поверхности миer-Muntau, T. Shen, H. Song, U.P. Trociewitz, X. Wang, H.W. Weijers //IEEE шени в атмосфере кислорода.

Transactions on Applied Superconductivity. – 2008. - Vol.18. - No.2. – P.70-81.

5. Скорость осаждения YBCO пленок в МРС on-axis конфигурации может [10] Villard, C. Limitation of DC Currents by YBa2Cu3O7--Au Superconducting быть существенно (в 2-2,5 раза) увеличена без ухудшения свойств полуFilms /C. Villard, C. Peroz, B. Guinand, P. Tixador //IEEE Transactions on Applied чаемых пленок за счет уменьшения величины индукции магнитного поля Superconductivity. – 2005. - Vol.15. - No.1. - P.11-16.

вблизи поверхности мишени и соответствующего повышения рабочего [11] Chu, C.W. HTSy: A Macroscopic View //Journal of Superconductivity. – 1999.

напряжения.

- Vol.12. - No.1. - P.85-88.

[12] Helmersson, U. Ionized physical vapor deposition (IPVD): A review of techЛичный вклад автора в полученных результатах nology and applications /U. Helmersson, M. Latteman, J. Bohlmark, A.P. EhiasaВклад автора в совместных с соавторами исследованиях следующий:

rian, J.T. Gudmundsson //Thin Solid Films – 2006. – Vol.513. - No.1-2. - P.1-24.

- меньший в исследовании тест-структур методом послойного элементного [13] Данилин, Б.С. Магнетронные распылительные устройства для осаждения оже-анализа с высоким разрешением по глубине [A1, A2, A6].

пленок высокотемпературных сверхпроводников //Обзоры по высокотемпера- основной в исследовании YBCO мишеней и пленок методом ожетурной сверхпроводимости. – 1992. - Вып.4(8). С.101-151.

спектроскопии и равнозначный – в интерпретации результатов [A3-A5].

[14] Kanda, N. Diagnosis of precipitate formation in pulsed-laser deposition of - основной в исследовании влияния элементного состава мишеней на YBa2Cu3O7- by means of in-situ laser-light scattering and ex-situ atomic force miсверхпроводящие и микроструктурные свойства пленок YBCO, получае 18 мых методом магнетронного напыления [A7-A9]. в данных пленках мелких преципитатов Y2O3, являющихся вероятными цен- равнозначный в разработке планарной магнетронной напылительной сис- трами пиннинга вихрей;

темы on-axis конфигурации и основной - в исследовании особенностей - Обнаружено сильное влияние окисления распыляемой поверхности мишени получения YBCO пленок в данной системе [A10, A11]. на скорость роста YBCO пленок в системе со стабилизированным током ис- равнозначный в изготовлении и исследовании элементов пассивных вы- точника питания магнетрона. Окисление мишени приводит к увеличению косокочастотных приборов на основе YBCO пленок [A12-A16]. эффициента эмиссии вторичных электронов и снижению напряжения разряда при заданном токе источника;

Апробация полученных результатов работы - Показано, что магнетронное напыление YBCO пленок при повышенных (40Результаты данной работы опубликованы в отечественных и зарубежных 100 Па) давлениях приводит к возникновению газовых потоков, влияющих на журналах, а также докладывались на всероссийских и международных конфе- скорость осаждения пленок;

ренциях: “The 1998 Applied Superconductivity Conference”(Palm Desert, - Обнаружено, что величина разориентации блоков мозаики в направлении California, 1998 год), рабочее совещание «Рентгеновская оптика - 2000» (Ниж- оси “c” в YBCO пленках, получаемых в системе напыления конфигурации onний Новгород, 2000 год), “Scanning Probe Microscopy – 2002”, Workshop axis, линейно коррелирует с напряжением магнетронного разряда при рабочем (Нижний Новгород, 2002 год), «Белорусский семинар по зондовой микроско- давлении до 100 Па.

пии (БелСЗМ-5)» (Минск, 2002 год), «Фундаментальные проблемы высоко- 2. На основе анализа работы магнетронных систем напыления найдено температурной сверхпроводимости - ФПС’06», (Москва, 2006 год), «XV Ко- новое решение для конфигурации on-axis:

ординационный научно-технический семинар по СВЧ технике», (Нижний - повышено рабочее давление в системе до уровня 50-100 Па, что изменило Новгород, 2007 год), «Пассивные электронные компоненты-2008» (Нижний характер переноса вещества от мишени к подложке и ослабило воздействие Новгород, 2008 год). Кроме того, результаты данной работы были доложены ионов и электронов плазмы на растущую пленку;

на семинарах в Институте физики микроструктур РАН. - изменено положение мишени в катодном узле, при котором уменьшается индукция магнитного поля у ее поверхности и, соответственно, возрастает (на Публикации 20-25%) напряжение разряда. При этом скорость осаждения пленок увеличена По теме диссертации опубликовано 16 печатных работ, в том числе 13 более чем в два раза за счет потокового механизма переноса материала от мистатей в реферируемых журналах и 3 публикации в сборниках материалов шени к подложке. В условиях высокого рабочего давления это не привело к международных и всероссийских конференций. ухудшению свойств получаемых YBCO пленок;

- в конструкции системы отсутствуют экранирующие электроды и высоковаСтруктура и объём диссертации куумная откачка, применена простейшая магнитная система катодного узла, Диссертация состоит из введения, пяти глав, заключения. Общий объем использованы простые в изготовлении мишени. Упрощение конструкции подиссертации составляет 142 страницы, включая 48 рисунков. Список цитиро- высило надежность работы системы;

ванной литературы включает 151 наименование, список публикаций автора по - за счет изменения положения мишени в катодном узле и соответствующего теме диссертации - 16 наименований. увеличения зоны эрозии увеличена площадь однородной пленки, получаемой при данных размерах мишени без вращения подложки, и повышена степень ОСНОВНОЕ СОДЕРЖАНИЕ ДИССЕРТАЦИИ утилизации используемых мишеней.

3. Реализация разработанной магнетронной системы напыления позволила Во Введении обоснована актуальность темы исследований, показана ее воспроизводимо получать двухсторонние пленки YBCO с высокими струкнаучная новизна и практическая значимость, сформулированы цели работы, а турными и электрофизическими характеристиками: температура "нуля сопротакже представлены сведения о структуре и содержании работы, приводятся тивления" 90 K, плотность критического тока до 4 МА/см2 при температуре положения, выносимые на защиту.

Pages:     | 1 || 3 | 4 |






© 2011 www.dissers.ru - «Бесплатная электронная библиотека»