WWW.DISSERS.RU

БЕСПЛАТНАЯ ЭЛЕКТРОННАЯ БИБЛИОТЕКА

загрузка...
   Добро пожаловать!

Pages:     | 1 |   ...   | 2 | 3 ||

7. Результаты исследований, полученные в работе, использованы для разработки технологических процессов плазмохимического осаждения слоев нитрида кремния на полиимидных покрытиях при изготовлении матричных микроболометрических приемников ИК-излучения, что позволяет воспроизводимо получать слои нитрида кремния с высокой адгезией к полиимиду и микромостиковые структуры с минимальными остаточными напряжениями и высоким уровнем поглощения ИК-излучения. Разработана оригинальная методика измерения теплофизических характеристик микромостиковых структур для контроля качества матричных микроболометрических приемников ИК-излучения. Полученные в работе экспериментальные данные использованы при разработке технологии изготовления газовых сенсоров на основе композиционных покрытий полиимид-многостенные углеродные нанотрубки с эффективной защитой от проникновения влаги при работе сенсора во влажной атмосфере.

Основное содержание диссертации опубликовано в следующих работах:

  1. Жуков А.А., Четверов Ю.С., Кудрявцев П.Н., Бирюлин П.В., Здобников А.Е., Бабаевский П.Г., Обижаев Д.Ю. Метод определения теплофизических характеристик неохлаждаемых полупроводниковых микроболометров // Нано- и микросистемная техника, 2006, №1, с. 24 – 27
  2. Жукова С.А., Обижаев Д.Ю., Демичева О.В., Алексеев А.М., Клинова Л.Л., Томишко М.М. Газовый сенсор на многостенных углеродных нанотрубках, работающий на регистрации четырех электрофизических параметров // Нано- и микросистемная техника, 2007, №4, с. 60 – 64
  3. Жукова С.А., Обижаев Д.Ю., Жуков А.А., Бабаевский П.Г. Закономерности плазмохимического травления полиимидных «жертвенных» слоев в микро- и наноразмерных зазорах // Нано- и микросистемная техника, 2007, №9,
    с. 20– 25
  4. Бабаевский П.Г., Жуков А.А., Жукова С.А Обижаев Д.Ю. Изменение химического состава поверхности тонкого полиимидного покрытия при плазмохимической обработке // Научные труды МАТИ им. К. Э. Циолковского. вып. 6 (78). -М.: ИЦ МАТИ, 2004, с. 78 - 82.
  5. Обижаев Д.Ю., Бабаевский П.Г., Жукова С.А. Жуков А.А. Оценка напряженного состояния пленок нитрида кремния при формировании структур с использованием «жертвенных» полиимидных слоев // Научные труды МАТИ им. К. Э. Циолковского. вып. 8 (80). -М.: ИЦ МАТИ, 2005,
    с. 8 - 13.
  6. Обижаев Д. Ю. Жуков А. А., Бабаевский П. Г. Влияние условий осаждения и толщины балочных структур на основе нитрида кремния на остаточные напряжения и их релаксацию // Научные труды МАТИ им. К. Э. Циолковского. вып. 11 (83). -М.: ИЦ МАТИ, 2006, с. 45 - 49.
  7. Жукова С. А., Обижаев Д. Ю., Бабаевский П. Г., Жуков А. А. Кинетика и механизм плазмохимического травления полиимидных «жертвенных» слоев в нано- и микроразмерных зазорах // Научные труды МАТИ им. К. Э. Циолковского. вып. 12 (84). -М.: ИЦ МАТИ, 2007, с. 8 – 13.
Pages:     | 1 |   ...   | 2 | 3 ||






© 2011 www.dissers.ru - «Бесплатная электронная библиотека»