WWW.DISSERS.RU

БЕСПЛАТНАЯ ЭЛЕКТРОННАЯ БИБЛИОТЕКА

загрузка...
   Добро пожаловать!

Pages:     | 1 |   ...   | 2 | 3 ||

В течение выполнения работы емкости объемом 50 – 100 см3 были испытаны в качестве барботажных устройств для подачи кремнийсодержащих соединений на установках получения оксидных пассивирующих покрытий и показали высокую эффективность и удобство в работе. Применение данных емкостей в качестве транспортных для перевозки и хранения высокочистого ЧХК показало, что качество продукта не ухудшается даже при длительном его контакте с материалом контейнера.

2.5. Исследование осаждения слоев диоксида кремния с применением ЧХК и ТМОС.

Поиск и создание ассортимента особо чистых исходных реагентов для технологии микроэлектронных приборов является важной научной и технической задачей. Удачный выбор структуры соединений, заранее заданное соотношение атомов в молекулах определяет требуемую скорость разложения их в различных средах с образованием высококачественных глубоких оптических контактов (ГОК) на кварце и диэлектрических пассивирующих слоев на кремнии.

В ходе выполнения настоящей работы было проведено испытание синтезированных нами ЧХК и ТМОС для решения поставленных задач на Красногорском заводе им. С.А. Зверева и ФГУП «НИИ автоматики им. Духова». Предварительные опыты по нанесению покрытий из диоксида кремния показали, что наиболее перспективным являются эти соединения.

Осаждение покрытия кварца на поверхность с использованием в качестве источника тетрахлорида кремния проводили при температуре подложки 20 – 300С. Подготовку поверхностей к осаждению проводили обработкой спиртами для удаления органических примесей. Лучшие результаты получены при паро-жидкостной обработке поверхностей этанолом и изопропанолом.

При применении ТМОС было обнаружено, что осаждение с заметной скоростью на подложке начинается с температуры 350 – 360оС. Оптимальная температура осаждения составляла 390 – 420оС.

Исследование осаждения пассивирующих слоев диоксида кремния на поверхностях алюминия и кремния проводили на диффузионной установке типа «СДОМ-3/100». Эксперименты проводили при температуре 480 350оС с шагом сброса температуры 30-50оС и различных соотношениях потоков газа-носителя - азот:кислород от 2:3 до 5:1.

Были получены диэлектрические слои желто-фиолетового цвета толщиной 0,16-0,18 мкм (разброс по толщине – 5%).

Напряжение пробоя, измеренное на измерителе характеристик полупроводниковых приборов «ППП Л2-56» в пределах Епр = 200-250 В.

ВЫВОДЫ:

      1. Изучен состав твердой фазы, образующейся при получении кремниевых пластин из массивных заготовок монокристаллического кремния; выявлено, что они представляют собой смесь порошков кремния, его окисленных форм, карбида кремния и примесей металлов. Разработан флотационный метод разделения твердой фазы в среде бромированных углеводородов.
      2. Исследована возможность получения тетрахлорида кремния и тетраметоксисилана из кремнийсодержащих отходов производства элементов солнечных батарей. Показано, что эти продукты могут быть получены с высокими выходом и чистотой.
      3. Изучен состав примесей, присутствующих в тетрахлориде кремния, в зависимости от условий хлорирования смеси. Определено, что основными примесями являются хлорированные углеводороды и алкилхлорсиланы. Исследована глубокая очистка ЧХК и ТМОС, синтезированных из кремнийсодержащих отходов, и получены препараты высокой чистоты.
      4. Изучен метод получения ТМОС с использованием в качестве исходного синтезированного из кремнийсодержащих отходов ЧХК и показано, что качество последнего не влияет на чистоту ТМОС после его очистки.
      5. Разработана технологическая схема переработки кремнийсодержащих отходов, включающая узлы разделения твердой и жидкой фаз, хлорирования твердой фазы, очистки тетрахлорида кремния и получения из него высокочистого тетраметоксисилана.
      6. Изучена химико-механическая стойкость конструкционных и тарных материалов, используемых для хранения, транспортировки и использования в процессах нанесения покрытий. Показано, что наиболее функционально пригодными для использования являются устройства барботажного типа, выполненные из нержавеющей стали с внутренней электрохимической полировкой.
      7. Исследовано получение парофазным гидролизом оксидных покрытий на кварце и кремнии из тетрахлорида кремния и тетраметоксисилана. Выданы рекомендации по использованию высокочистых материалов для подготовки поверхностей для парофазного нанесения тонких оксидных покрытий.

Основное содержание диссертации изложено в следующих работах:

1.Б.Н.Сеник, Е.Е.Гринберг, В.Б.Жаданов, К.В.Баранов, В.В.Сырычко, В.В.Потелов, И.Е.Стрельникова, Возможности улучшения технологии получения тонких пленок диоксида на кварце, Вестник Международной Академии системных исследований, М.,2006 г., Т.9, ч.1, С. 4-7.

2.Е.Е.Гринберг, Б.Н.Сеник, В.Б.Жаданов, В.К.Баранов, В.В.Сырычко, В.В.Потелов, Исследование получения тонких слоев оксида кремния на поверхности кварца, Успехи в химии и химической технологии, Сб. науч. трудов, Т.ХХ, № 3, М., РХТУ им. Менделеева, 2006 г., С.94-98

3. Е.Е.Гринберг, Ю.В.Ивлева, Ю.И.Левин, К.В.Баранов, А.В.Беляков, Влияние условий гидролиза алкоголятов металлов на размер частиц сложных оксидов. Тезисы докладов 1У Международной научной конференции «Кинетика и механизм кристаллизации. Нанокристаллизация. Биокристаллизация.», Иваново, 2006 г., с 77.

4. В.Б.Жаданов, К.В.Баранов, Е.Ю.Чекулаева, Б.Н.Сеник, Анализ поверхностей твердых материалов методом ИК-спектроскопии. Тезисы докладов Х1 Международной конференции «Наукоемкие химические технологии -2006», Самара, 2006 г., с.191

5. И.Е.Стрельникова, Е.Е.Гринберг, Ю.В.Ивлева, А.В.Беляков, Е.Ю.Чекулаева, С.В.Иванов, К.В.Баранов. Получение сложных алкоголятов для «золь-гель»-технологии оксидных систем. Там же, с 223

6.. Е.Е.Гринберг, И.Е.Стрельникова, С.В.Иванов, К.В.Баранов, А.М.Бессарабов, В.И.Рахлин, М.Г.Воронков, Каталитический синтез и некоторые свойства бис(триметилсилил)аминотриалкоксигерманов. Тезисы У11 Российской конференции «Механизмы каталитических реакций», СПб, 2006 г., с. 46.

7. Е.Е.Гринберг, В. В. Сырычко, А. В. Беляков, К. В. Баранов, Применение алкоголятов металлов для нанесения тонких слоев оксидов на угли. Тезисы Международной конференции «Химия, химическая технология и биотехнология на рубеже тысячелетий», Томск, 2006 г, т.1, с. 204

8.К.В.Баранов, В.Б.Жаданов, В.В.Сырычко, Е.Е.Гринберг, Ю.И.Левин, Б.Н.Сеник, А.В.Беляков, О некоторых возможностях переработки «солнечного» кремния// Химическая промышленность сегодня, М., № 5, 2007, С. 17 - 21

9. Е.Е.Гринберг, Е.Ю.Сударикова, В.В.Сырычко, И.Е.Стрельникова, В.В.Потелов, К.В. Баранов, Технологические вопросы получения высокочистых веществ для золь-гель- и пиролитических методов синтеза//Физика и химия стекла, СПб., 2008, т.5, С.45 - 49.

10.Е.Е.Гринберг, Е.Ю.Чекулаева, И.Е.Стрельникова, В.В.Сырычко, К.В.Баранов, Технологические вопросы получения высокочистых веществ для золь-гель- и пиролитических методов осаждения тон- кослойных покрытий// Тез. докл. ХХ Всероссийского совещания по температуроустойчивым функциональным покрытиям», 2007, СПб, с.

113 - 114.

Pages:     | 1 |   ...   | 2 | 3 ||






© 2011 www.dissers.ru - «Бесплатная электронная библиотека»